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東京エレクトロン株式会社

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  2022年 特許取得件数ランキング    第38位 690件 上昇2021年:第45位 515件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7138514 環状部材、プラズマ処理装置及びプラズマエッチング方法 2022年 9月16日
特許 7138518 成膜方法及び成膜システム 2022年 9月16日
特許 7138529 エッチング方法 2022年 9月16日
特許 7138539 基板処理装置及び基板処理方法 2022年 9月16日
特許 7138550 基板処理装置 2022年 9月16日
特許 7138582 アンテナ、プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 2022年 9月16日
特許 7137976 基板処理方法及び基板処理装置 2022年 9月15日
特許 7137977 基板処理装置及び基板処理方法 2022年 9月15日
特許 7137986 基板処理装置および基板処理方法 2022年 9月15日
特許 7136254 基板処理装置及び基板処理方法 2022年 9月13日
特許 7134695 プラズマ処理装置、及び電源制御方法 2022年 9月12日
特許 7134826 静電チャックの生産方法 2022年 9月12日
特許 7134863 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 2022年 9月12日
特許 7133975 エッチング方法およびエッチング装置 2022年 9月 9日
特許 7133992 基板載置台及び基板処理装置 2022年 9月 9日

693 件中 211-225 件を表示

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7138514 7138518 7138529 7138539 7138550 7138582 7137976 7137977 7137986 7136254 7134695 7134826 7134863 7133975 7133992

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