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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第25位 842件
(2021年:第33位 878件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第38位 690件
(2021年:第45位 515件)
(ランキング更新日:2025年9月12日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7138514 | 環状部材、プラズマ処理装置及びプラズマエッチング方法 | 2022年 9月16日 | |
特許 7138518 | 成膜方法及び成膜システム | 2022年 9月16日 | |
特許 7138529 | エッチング方法 | 2022年 9月16日 | |
特許 7138539 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2022年 9月16日 | |
特許 7138550 | 基板処理装置 | 2022年 9月16日 | |
特許 7138582 | アンテナ、プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | 2022年 9月16日 | |
特許 7137976 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2022年 9月15日 | |
特許 7137977 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2022年 9月15日 | |
特許 7137986 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2022年 9月15日 | |
特許 7136254 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2022年 9月13日 | |
特許 7134695 | プラズマ処理装置、及び電源制御方法 | 2022年 9月12日 | |
特許 7134826 | 静電チャックの生産方法 | 2022年 9月12日 | |
特許 7134863 | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | 2022年 9月12日 | |
特許 7133975 | エッチング方法およびエッチング装置 | 2022年 9月 9日 | |
特許 7133992 | 基板載置台及び基板処理装置 | 2022年 9月 9日 |
693 件中 211-225 件を表示
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7138514 7138518 7138529 7138539 7138550 7138582 7137976 7137977 7137986 7136254 7134695 7134826 7134863 7133975 7133992
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