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東京エレクトロン株式会社

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  2022年 出願公開件数ランキング    第25位 842件 上昇2021年:第33位 878件)

  2022年 特許取得件数ランキング    第38位 690件 上昇2021年:第45位 515件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7153556 温度測定部材、検査装置及び温度測定方法 2022年10月14日
特許 7153574 上部電極構造、プラズマ処理装置、及び上部電極構造を組み立てる方法 2022年10月14日
特許 7153582 成膜方法及び成膜装置 2022年10月14日
特許 7153773 接合装置、接合システム、接合方法及びコンピュータ記憶媒体 2022年10月14日
特許 7151318 基板搬送方法及び基板搬送モジュール 2022年10月12日
特許 7151368 酸化処理モジュール、基板処理システム及び酸化処理方法 2022年10月12日
特許 7151420 ガス供給装置及びガス供給方法 2022年10月12日
特許 7152602 接合装置、接合システム及び接合方法 2022年10月12日
特許 7149739 載置台及び基板処理装置 2022年10月 7日
特許 7149748 基板処理システム、基板搬送方法、および制御プログラム 2022年10月 7日
特許 7149786 載置ユニット及び処理装置 2022年10月 7日
特許 7149788 成膜方法及び成膜装置 2022年10月 7日
特許 7149792 搬送装置、半導体製造装置及び搬送方法 2022年10月 7日
特許 7149794 半導体装置の製造方法 2022年10月 7日
特許 7149884 熱処理装置及び成膜方法 2022年10月 7日

693 件中 166-180 件を表示

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7153556 7153574 7153582 7153773 7151318 7151368 7151420 7152602 7149739 7149748 7149786 7149788 7149792 7149794 7149884

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