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(2021年:第33位 878件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第38位 690件
(2021年:第45位 515件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7153556 | 温度測定部材、検査装置及び温度測定方法 | 2022年10月14日 | |
特許 7153574 | 上部電極構造、プラズマ処理装置、及び上部電極構造を組み立てる方法 | 2022年10月14日 | |
特許 7153582 | 成膜方法及び成膜装置 | 2022年10月14日 | |
特許 7153773 | 接合装置、接合システム、接合方法及びコンピュータ記憶媒体 | 2022年10月14日 | |
特許 7151318 | 基板搬送方法及び基板搬送モジュール | 2022年10月12日 | |
特許 7151368 | 酸化処理モジュール、基板処理システム及び酸化処理方法 | 2022年10月12日 | |
特許 7151420 | ガス供給装置及びガス供給方法 | 2022年10月12日 | |
特許 7152602 | 接合装置、接合システム及び接合方法 | 2022年10月12日 | |
特許 7149739 | 載置台及び基板処理装置 | 2022年10月 7日 | |
特許 7149748 | 基板処理システム、基板搬送方法、および制御プログラム | 2022年10月 7日 | |
特許 7149786 | 載置ユニット及び処理装置 | 2022年10月 7日 | |
特許 7149788 | 成膜方法及び成膜装置 | 2022年10月 7日 | |
特許 7149792 | 搬送装置、半導体製造装置及び搬送方法 | 2022年10月 7日 | |
特許 7149794 | 半導体装置の製造方法 | 2022年10月 7日 | |
特許 7149884 | 熱処理装置及び成膜方法 | 2022年10月 7日 |
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7153556 7153574 7153582 7153773 7151318 7151368 7151420 7152602 7149739 7149748 7149786 7149788 7149792 7149794 7149884
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