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東京エレクトロン株式会社

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7487538 タングステン膜を形成する方法及び装置、並びにタングステン膜を形成する前の中間膜の形成を行う装置 2024年 5月21日
特許 7488062 接合装置、接合システム、接合方法および記憶媒体 2024年 5月21日
特許 7488138 真空処理装置、及び真空処理装置の制御方法 2024年 5月21日
特許 7487006 基板液処理装置及び基板液処理方法 2024年 5月20日
特許 7485870 プラズマ処理のための3フェーズパルス印加システム及び方法 2024年 5月17日
特許 7485886 プラズマ処理装置のための高周波(RF)コイルを形成する金型および方法 2024年 5月17日
特許 7486058 後面電力供給における交換用埋設電力レール 2024年 5月17日
特許 7486321 成膜方法 2024年 5月17日
特許 7486372 基板処理装置、及び基板処理方法 2024年 5月17日
特許 7486377 基板処理装置、及び基板処理方法 2024年 5月17日
特許 7486378 基板処理装置、及び基板処理方法 2024年 5月17日
特許 7486382 搬送装置および搬送方法 2024年 5月17日
特許 7486387 成膜方法 2024年 5月17日
特許 7486388 ガス導入構造及び処理装置 2024年 5月17日
特許 7486398 エッチング方法およびエッチング装置 2024年 5月17日

21 件中 1-15 件を表示

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7487538 7488062 7488138 7487006 7485870 7485886 7486058 7486321 7486372 7486377 7486378 7486382 7486387 7486388 7486398

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