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東京エレクトロン株式会社
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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第45位 580件
（
2019年：第58位 660件）
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第58位 319件
（
2019年：第58位 415件）
（ランキング更新日：2020年9月30日）筆頭出願人である出願のみカウントしています
| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6761860 | 塗布処理装置、塗布処理方法及びコンピュータ記憶媒体 | 2020年 9月30日 | |
| 特許 6762214 | 基板液処理装置、および基板液処理方法 | 2020年 9月30日 | |
| 特許 6762378 | 基板洗浄方法、基板洗浄システムおよび記憶媒体 | 2020年 9月30日 | |
| 特許 6762410 | プラズマ処理装置及び制御方法 | 2020年 9月30日 | |
| 特許 6762831 | ハードマスクの形成方法、ハードマスクの形成装置及び記憶媒体 | 2020年 9月30日 | |
| 特許 6763274 | 成膜装置、成膜装置のクリーニング方法及び記憶媒体 | 2020年 9月30日 | |
| 特許 6763290 | 液処理装置における処理液の吐出量の測定方法、測定方法に用いる容器及び測定方法に用いる冶具 | 2020年 9月30日 | |
| 特許 6763321 | 自転検出用冶具、基板処理装置及び基板処理装置の運転方法 | 2020年 9月30日 | |
| 特許 6763325 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置及び真空処理装置 | 2020年 9月30日 | |
| 特許 6763443 | 異物検出装置、異物検出方法及び記憶媒体 | 2020年 9月30日 | |
| 特許 6763750 | 被処理体を処理する方法 | 2020年 9月30日 | |
| 特許 6764040 | 接合システム、および接合方法 | 2020年 9月30日 |
12 件中 1-12 件を表示
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6761860 6762214 6762378 6762410 6762831 6763274 6763290 6763321 6763325 6763443 6763750 6764040
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