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(2024年:第27位 725件)
■ 2025年 特許取得件数ランキング 第21位 404件
(2024年:第25位 802件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7696241 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2025年 6月20日 | |
特許 7696244 | フィルタ回路およびプラズマ処理装置 | 2025年 6月20日 | |
特許 7696258 | 成膜システムおよび成膜方法 | 2025年 6月20日 | |
特許 7695833 | 基板処理装置及びミストガードの洗浄方法 | 2025年 6月19日 | |
特許 7696065 | 基板処理方法及び基板処理システム | 2025年 6月19日 | |
特許 7696071 | プラズマ処理装置及び制御方法 | 2025年 6月19日 | |
特許 7695038 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2025年 6月18日 | |
特許 7693481 | 成膜装置、成膜方法及び成膜システム | 2025年 6月17日 | |
特許 7693484 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2025年 6月17日 | |
特許 7693485 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2025年 6月17日 | |
特許 7693490 | 成膜装置及び成膜方法 | 2025年 6月17日 | |
特許 7693604 | 基板処理装置 | 2025年 6月17日 | |
特許 7693762 | 基板処理装置 | 2025年 6月17日 | |
特許 7693795 | 半導体製造装置及び半導体製造装置用の部品 | 2025年 6月17日 | |
特許 7692696 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2025年 6月16日 |
23 件中 1-15 件を表示
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7696241 7696244 7696258 7695833 7696065 7696071 7695038 7693481 7693484 7693485 7693490 7693604 7693762 7693795 7692696
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