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東京エレクトロン株式会社

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7595431 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2024年12月 6日
特許 7595473 締結構造、プラズマ処理装置及び締結方法 2024年12月 6日
特許 7595527 金属含有膜および金属含有膜の製造方法 2024年12月 6日
特許 7595541 プラズマ測定方法 2024年12月 6日
特許 7595743 基板処理方法および基板処理装置 2024年12月 6日
特許 7594717 機械学習を用いた半導体製造データ取得機器における拡張された分解能 2024年12月 5日
特許 7594883 基板処理装置及び基板処理方法 2024年12月 5日
特許 7594901 情報処理方法、情報処理装置及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2024年12月 5日
特許 7594903 現像装置及び現像方法 2024年12月 5日
特許 7594914 基板処理の条件設定支援方法、基板処理システム、記憶媒体及び学習モデル 2024年12月 5日
特許 7594943 エッチング方法、基板処理装置、及び基板処理システム 2024年12月 5日
特許 7595143 基板支持器、及び、プラズマ処理装置 2024年12月 5日
特許 7592410 載置台及び基板処理装置 2024年12月 2日
特許 7592500 基板処理方法および基板処理装置 2024年12月 2日
特許 7592511 成膜システム、成膜方法 2024年12月 2日

18 件中 1-15 件を表示

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7595431 7595473 7595527 7595541 7595743 7594717 7594883 7594901 7594903 7594914 7594943 7595143 7592410 7592500 7592511

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