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東京エレクトロン株式会社
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東京エレクトロン株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7588487 | 成膜方法 | 2024年11月22日 | |
| 特許 7588516 | プラズマ処理装置 | 2024年11月22日 | |
| 特許 7588518 | 温度制御方法及び基板処理装置 | 2024年11月22日 | |
| 特許 7588725 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2024年11月22日 | |
| 特許 7587734 | 周期的自己制限的エッチングプロセス | 2024年11月21日 | |
| 特許 7587548 | 温度調整用流量制御ユニットおよび半導体製造装置 | 2024年11月20日 | |
| 特許 7585593 | 積み重ねられたデバイスを有する半導体装置及びその製造方法 | 2024年11月19日 | |
| 特許 7585812 | 基板載置台及び基板処理方法。 | 2024年11月19日 | |
| 特許 7586598 | 排気リングアセンブリ及びプラズマ処理装置 | 2024年11月19日 | |
| 特許 7586599 | 成膜装置及び成膜方法 | 2024年11月19日 | |
| 特許 7586617 | 載置台 | 2024年11月19日 | |
| 特許 7586618 | 基板搬送装置及び基板処理システム | 2024年11月19日 | |
| 特許 7586619 | 基板処理装置及び液体誘導部材 | 2024年11月19日 | |
| 特許 7585281 | パターン化された有機金属フォトレジスト及びパターニングの方法 | 2024年11月18日 | |
| 特許 7585551 | エッチング方法、プリコート方法及びエッチング装置 | 2024年11月18日 |
16 件中 1-15 件を表示
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7588487 7588516 7588518 7588725 7587734 7587548 7585593 7585812 7586598 7586599 7586617 7586618 7586619 7585281 7585551
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