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東京エレクトロン株式会社

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  2020年 特許取得件数ランキング    第58位 319件 変わらず2019年:第58位 415件)

(ランキング更新日:2020年9月30日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6761860 塗布処理装置、塗布処理方法及びコンピュータ記憶媒体 2020年 9月30日
特許 6762214 基板液処理装置、および基板液処理方法 2020年 9月30日
特許 6762378 基板洗浄方法、基板洗浄システムおよび記憶媒体 2020年 9月30日
特許 6762410 プラズマ処理装置及び制御方法 2020年 9月30日
特許 6762831 ハードマスクの形成方法、ハードマスクの形成装置及び記憶媒体 2020年 9月30日
特許 6763274 成膜装置、成膜装置のクリーニング方法及び記憶媒体 2020年 9月30日
特許 6763290 液処理装置における処理液の吐出量の測定方法、測定方法に用いる容器及び測定方法に用いる冶具 2020年 9月30日
特許 6763321 自転検出用冶具、基板処理装置及び基板処理装置の運転方法 2020年 9月30日
特許 6763325 半導体装置の製造方法、基板処理装置及び真空処理装置 2020年 9月30日
特許 6763443 異物検出装置、異物検出方法及び記憶媒体 2020年 9月30日
特許 6763750 被処理体を処理する方法 2020年 9月30日
特許 6764040 接合システム、および接合方法 2020年 9月30日

12 件中 1-12 件を表示

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6761860 6762214 6762378 6762410 6762831 6763274 6763290 6763321 6763325 6763443 6763750 6764040

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