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東京エレクトロン株式会社

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  2021年 出願公開件数ランキング    第36位 620件 上昇2020年:第43位 773件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第49位 367件 上昇2020年:第54位 436件)

(ランキング更新日:2021年9月22日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6936935 有機化合物ガス環境中でのCu含有層の中性ビームエッチング 2021年 9月22日
特許 6937197 ラップアラウンドコンタクト一体化スキーム 2021年 9月22日
特許 6937370 研削装置、研削方法及びコンピュータ記憶媒体 2021年 9月22日
特許 6937403 基板載置台 2021年 9月22日
特許 6937604 タングステン膜を形成する方法 2021年 9月22日
特許 6937644 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2021年 9月22日
特許 6937906 基板処理装置 2021年 9月22日
特許 6938248 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2021年 9月22日
特許 6938746 エッチング装置及びエッチング方法 2021年 9月22日
特許 6939043 処理液供給装置 2021年 9月22日

10 件中 1-10 件を表示

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6936935 6937197 6937370 6937403 6937604 6937644 6937906 6938248 6938746 6939043

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