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東京エレクトロン株式会社
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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第36位 620件
（
2020年：第43位 773件）
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第49位 367件
（2020年：第54位 436件）
（ランキング更新日：2021年9月22日）筆頭出願人である出願のみカウントしています
| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6936935 | 有機化合物ガス環境中でのＣｕ含有層の中性ビームエッチング | 2021年 9月22日 | |
| 特許 6937197 | ラップアラウンドコンタクト一体化スキーム | 2021年 9月22日 | |
| 特許 6937370 | 研削装置、研削方法及びコンピュータ記憶媒体 | 2021年 9月22日 | |
| 特許 6937403 | 基板載置台 | 2021年 9月22日 | |
| 特許 6937604 | タングステン膜を形成する方法 | 2021年 9月22日 | |
| 特許 6937644 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | 2021年 9月22日 | |
| 特許 6937906 | 基板処理装置 | 2021年 9月22日 | |
| 特許 6938248 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | 2021年 9月22日 | |
| 特許 6938746 | エッチング装置及びエッチング方法 | 2021年 9月22日 | |
| 特許 6939043 | 処理液供給装置 | 2021年 9月22日 |
10 件中 1-10 件を表示
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6936935 6937197 6937370 6937403 6937604 6937644 6937906 6938248 6938746 6939043
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