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東京エレクトロン株式会社

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  2021年 特許取得件数ランキング    第31位 44件 上昇2020年:第54位 436件)

(ランキング更新日:2021年1月21日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6814377 ビア対グリッドのパターニングにおけるオーバレイエラーを減少する方法 2021年 1月20日
特許 6814693 マイクロ波出力装置及びプラズマ処理装置 2021年 1月20日
特許 6815158 酸化チタン膜の成膜方法およびハードマスクの形成方法 2021年 1月20日
特許 6815251 検査システム、ウエハマップ表示器、ウエハマップ表示方法、およびコンピュータプログラム 2021年 1月20日
特許 6815542 基板処理装置 2021年 1月20日
特許 6815799 基板処理装置及び基板処理方法 2021年 1月20日
特許 6815828 めっき処理方法、めっき処理装置及び記憶媒体 2021年 1月20日
特許 6816249 基板収納処理装置、基板収納処理方法、及び記録媒体 2021年 1月20日
特許 6816634 成膜装置 2021年 1月20日
特許 6817168 被処理体を処理する方法 2021年 1月20日
特許 6817692 プラズマ処理方法 2021年 1月20日
特許 6817745 基板処理装置、リフトピンの高さ位置検知方法、リフトピンの高さ位置調節方法、及び、リフトピンの異常検出方法 2021年 1月20日
特許 6817757 基板処理装置及び基板移送方法 2021年 1月20日
特許 6817883 成膜方法 2021年 1月20日
特許 6817889 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2021年 1月20日

16 件中 1-15 件を表示

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6814377 6814693 6815158 6815251 6815542 6815799 6815828 6816249 6816634 6817168 6817692 6817745 6817757 6817883 6817889

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