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ラム　リサーチ　コーポレーション

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 5901630	メタライゼーション処理、混合物、および、電子デバイス	2016年 4月13日
特許 5902153	プラズマ反応チャンバのための可動チャンバライナ、プラズマ反応チャンバおよび方法	2016年 4月13日
特許 5896595	２層ＲＦ構造のウエハ保持体	2016年 3月30日
特許 5896915	プラズマチャンバで使用される上方電極から表面金属汚染を洗浄するための方法	2016年 3月30日
特許 5888981	プラズマ処理システムにおけるイオンエネルギ分布の制御	2016年 3月22日
特許 5891300	誘導結合プラズマエッチングリアクタのためのガス分配シャワーヘッド	2016年 3月22日
特許 5883481	プラズマ処理システムにおけるイオンエネルギ分布の制御	2016年 3月15日
特許 5881954	プラズマ発生装置	2016年 3月 9日
特許 5879269	堆積後ウエハ洗浄配合物	2016年 3月 8日
特許 5872291	プラズマ処理システム及びプラズマ処理チャンバ内の圧力を制御する方法	2016年 3月 1日
特許 5872474	プラズマ処理システムおよび電流制御システム	2016年 3月 1日
特許 5868968	電子デバイスを製造する方法	2016年 2月24日
特許 5855644	ガス供給システムのためのコーティング方法	2016年 2月 9日
特許 5850601	その場ウエハー温度測定並びに制御	2016年 2月 3日
特許 5844757	エッチング・システム及びエッチング方法	2016年 1月20日

46 件中 31-45 件を表示

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5901630 5902153 5896595 5896915 5888981 5891300 5883481 5881954 5879269 5872291 5872474 5868968 5855644 5850601 5844757

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