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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7792995	半導体ＲＦプラズマ処理のためのパルス内のＲＦパルス	2025年12月26日
特許 7793012	アーク発生を防止または抑制するための化学蒸着ツール	2025年12月26日
特許 7793023	基板処理システム用のチラー開閉コネクタ	2025年12月26日
特許 7791817	端部／中央部の不均一性を軽減するためにウエハの外周近傍に凹部を備えた半導体処理チャック	2025年12月24日
特許 7791924	高アスペクト比の誘電体エッチングを達成するための３つ以上の状態	2025年12月24日
特許 7789172	基板処理システム用の縮径キャリアリングハードウェア	2025年12月19日
特許 7788393	基板処理システムのプロセスモジュールバイアスアセンブリ用の摺動・枢動アセンブリ	2025年12月18日
特許 7788408	バブラを用いた濃度制御	2025年12月18日
特許 7787894	エッチングフロント金属触媒を用いる高アスペクト比メモリのプロファイル最適化	2025年12月17日
特許 7787928	誘電体における高アスペクト比フィーチャのプラズマエッチング化学物質	2025年12月17日
特許 7787253	ラジカルおよび前駆体ガスを下流チャンバに供給して遠隔プラズマ膜蒸着を可能にするための温度制御を備えた統合シャワーヘッド	2025年12月16日
特許 7785825	プラズマチャンバ内で使用するためのリング構造およびシステム	2025年12月15日
特許 7785132	半導体処理ツールにおけるＲＦ電流測定	2025年12月12日
特許 7781229	半導体処理における異常プラズマ事象の検出および軽減	2025年12月 5日
特許 7778898	ＲＦ電力損失を補償するためのシステムおよび方法	2025年12月 2日

215 件中 1-15 件を表示

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