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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7793023	基板処理システム用のチラー開閉コネクタ	2025年12月26日
特許 7793012	アーク発生を防止または抑制するための化学蒸着ツール	2025年12月26日
特許 7792995	半導体ＲＦプラズマ処理のためのパルス内のＲＦパルス	2025年12月26日
特許 7791924	高アスペクト比の誘電体エッチングを達成するための３つ以上の状態	2025年12月24日
特許 7791817	端部／中央部の不均一性を軽減するためにウエハの外周近傍に凹部を備えた半導体処理チャック	2025年12月24日
特許 7789172	基板処理システム用の縮径キャリアリングハードウェア	2025年12月19日
特許 7788408	バブラを用いた濃度制御	2025年12月18日
特許 7788393	基板処理システムのプロセスモジュールバイアスアセンブリ用の摺動・枢動アセンブリ	2025年12月18日
特許 7787928	誘電体における高アスペクト比フィーチャのプラズマエッチング化学物質	2025年12月17日
特許 7787894	エッチングフロント金属触媒を用いる高アスペクト比メモリのプロファイル最適化	2025年12月17日
特許 7787253	ラジカルおよび前駆体ガスを下流チャンバに供給して遠隔プラズマ膜蒸着を可能にするための温度制御を備えた統合シャワーヘッド	2025年12月16日
特許 7785825	プラズマチャンバ内で使用するためのリング構造およびシステム	2025年12月15日
特許 7785132	半導体処理ツールにおけるＲＦ電流測定	2025年12月12日
特許 7781991	二重周波数、直接駆動誘導結合プラズマ源	2025年12月 8日
特許 7781879	インピーダンス整合器のための均一性制御回路	2025年12月 8日

217 件中 1-15 件を表示

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7793023 7793012 7792995 7791924 7791817 7789172 7788408 7788393 7787928 7787894 7787253 7785825 7785132 7781991 7781879

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