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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2017-92435	消耗品のためのセンサおよびアジャスタ	2017年 5月25日
特開 2017-92448	ウエハの極縁における特徴プロフィールの傾斜を改善するためのエッジリングアセンブリ	2017年 5月25日
特開 2017-92455	カルコゲナイド材料を封止する方法	2017年 5月25日
特開 2017-92459	統合バッファを備えたウエハ搬送アセンブリ	2017年 5月25日
特開 2017-85072	半導体プロセスモジュールからｉｎ−ｓｉｔｕで消耗部品を取り出して交換するためのシステム	2017年 5月18日
特開 2017-85088	原子層堆積のための動的前駆体注入	2017年 5月18日
特開 2017-85089	熱閉塞体を備える静電チャック	2017年 5月18日
特開 2017-79329	ロードロックインターフェースおよび統合された後処理モジュール	2017年 4月27日
特開 2017-69564	三次元を利用したモジュール式システム・レイアウト	2017年 4月 6日
特開 2017-63186	タングステンおよび他の金属の原子層エッチング	2017年 3月30日
特開 2017-53024	タングステン堆積充填の強化のためのタングステンの原子層エッチング	2017年 3月16日
特開 2017-54824	プラズマの点火及び維持の方法と装置	2017年 3月16日
特開 2017-55100	エッジに限局されたイオン軌道制御及びプラズマ動作を通じた、最端エッジにおけるシース及びウエハのプロフィール調整	2017年 3月16日
特開 2017-50285	分散型マルチゾーンプラズマ源システム、方法、および、装置	2017年 3月 9日
特開 2017-50531	ガス供給システム	2017年 3月 9日

79 件中 46-60 件を表示

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2017-92435 2017-92448 2017-92455 2017-92459 2017-85072 2017-85088 2017-85089 2017-79329 2017-69564 2017-63186 2017-53024 2017-54824 2017-55100 2017-50285 2017-50531

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