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ラム　リサーチ　コーポレーション

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2017-199898	バッフルプレートおよびシャワーヘッドアセンブリならびに対応する製造方法	2017年11月 2日
特開 2017-199904	マルチステーション型堆積システムにおける膜厚整合のための、サイクル及び時間が可変のＲＦ活性化方法	2017年11月 2日
特開 2017-199909	ＡＬＥおよび選択的蒸着を用いた基板のエッチング	2017年11月 2日
特開 2017-195365	終点検出のためのエッチング測定感度	2017年10月26日
特開 2017-191940	半導体処理用の交流駆動を用いる多重ヒータアレイ	2017年10月19日
特開 2017-188434	より低い周波数のＲＦ発生器の周期においてより高いＲＦ発生器に向かって反射する電力を低減し、反射電力を低減させるための関係を用いるシステムおよび方法	2017年10月12日
特開 2017-183701	エッジリング特性評価を実行するためのシステムおよび方法	2017年10月 5日
特開 2017-175121	プラズマ源のチャンバ部材、および、基板Ｃ−リングの平行移動のために半径方向外側に配置されたリフトピンを備えるペデスタル	2017年 9月28日
特開 2017-166065	高純度でｓｐ３結合を含む化学気相成長（ＣＶＤ）ダイヤモンドコーティングを有するエッジリングのようなプラズマ処理システム用構成部材	2017年 9月21日
特開 2017-157836	プラズマおよび蒸気処理の組み合わせを用いたＡＬ２Ｏ３の原子層エッチング	2017年 9月 7日
特開 2017-152684	付加製造されたガス分配マニホールド	2017年 8月31日
特開 2017-152685	付加製造されたガス分配マニホールド	2017年 8月31日
特開 2017-152688	電気的導通を用いたエンドエフェクタ平坦度の検証	2017年 8月31日
特開 2017-152689	不揮発性金属をパターニングするためのチャンバ	2017年 8月31日
特開 2017-143057	ＲＦ端子から隣接する非ＲＦ端子への電気絶縁破壊を避けるための装置および方法	2017年 8月17日

79 件中 16-30 件を表示

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2017-199898 2017-199904 2017-199909 2017-195365 2017-191940 2017-188434 2017-183701 2017-175121 2017-166065 2017-157836 2017-152684 2017-152685 2017-152688 2017-152689 2017-143057

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