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ラム リサーチ コーポレーション

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  2017年 出願公開件数ランキング    第490位 79件 下降2016年:第478位 71件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第896位 24件 下降2016年:第563位 46件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2017-143059 プラズマエッチングチャンバのための高速インピーダンス切り替えを備えた変圧器結合容量性同調回路 2017年 8月17日
特開 2017-143244 基板におけるイオンビームの入射角の制御 2017年 8月17日
特開 2017-143248 半導体処理装置においてシャワーヘッド傾斜を動的に調整するためのアクチュエータ 2017年 8月17日
特開 2017-143261 反射スペクトルマッチングおよび表面動力学モデル最適化によるエッチングプロファイル最適化のための方法および装置 2017年 8月17日
特開 2017-135363 システムメンテナンス中に最小接触面積フィーチャおよびウエハ移動ピンを保管して整理するための設計 2017年 8月 3日
特開 2017-135365 表面反応速度モデル最適化によるエッチングプロファイルマッチングのための方法および装置 2017年 8月 3日
特開 2017-135366 ウエハ裏面における堆積の低減のための可変温度ハードウェアおよび方法 2017年 8月 3日
特開 2017-116923 蒸着金属酸化物含有ハードマスクのEUVフォトパターニング 2017年 6月29日
特開 2017-118095 モノリシックマニホールドマスク及び基板の概念 2017年 6月29日
特開 2017-112350 プラズマ電力レベルに応じて二様態プロセスガス組成を使用するプラズマエッチングのための方法及びシステム 2017年 6月22日
特開 2017-112371 シャワーヘッドアセンブリ 2017年 6月22日
特開 2017-108112 水平スロットの実装および/または移動シャワーヘッドを含む、ウエハー搬送マイクロクライメイト技法および装置 2017年 6月15日
特開 2017-103454 エッチング処理および蒸着処理のためのコンピュータアドレス可能なプラズマ密度修正 2017年 6月 8日
特開 2017-98224 ウェハキャビティ内のプラズマを検出するための測定学的方法ならびにステーション毎およびツール毎のマッチングのための測定学の使用 2017年 6月 1日
特開 2017-98540 正面開口式リングポッド 2017年 6月 1日

79 件中 31-45 件を表示

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2017-143059 2017-143244 2017-143248 2017-143261 2017-135363 2017-135365 2017-135366 2017-116923 2017-118095 2017-112350 2017-112371 2017-108112 2017-103454 2017-98224 2017-98540

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