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ラム　リサーチ　コーポレーション

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　■　2017年特許取得件数ランキング　　　第896位　24件（2016年：第563位　46件）

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2017-50535	半導体製造機器内の消耗部品の摩耗検出	2017年 3月 9日
特開 2017-41631	静電チャック用の凸形の内面を有する環状エッジシール	2017年 2月23日
特開 2017-36493	原子層堆積中における化学物質の制御された分離および送出により低欠陥処理を可能にするシステムおよび方法	2017年 2月16日
特開 2017-37831	レシピセットの実行を同期化するためのシステム及び方法	2017年 2月16日
特開 2017-37846	加熱プレートおよび基板支持体	2017年 2月16日
特開 2017-34234	ドープされた石英表面を備えるプラズマエッチング装置	2017年 2月 9日
特開 2017-34245	感受性材料上にハロゲン化物含有ＡＬＤ膜を統合する方法	2017年 2月 9日
特開 2017-34257	プラズマエッチング耐性コーティングを有するプラズマエッチングデバイス	2017年 2月 9日
特開 2017-25326	洗浄水溶液	2017年 2月 2日
特開 2017-28268	エッチングチャンバ部材としての、焼結ナノ結晶粒化イットリウムをベースとしたセラミックの使用	2017年 2月 2日
特開 2017-20102	電解液供給生成装置	2017年 1月26日
特開 2017-22368	ＧａＮ及びその他のＩＩＩ−Ｖ材料の原子層エッチング	2017年 1月26日
特開 2017-22392	半導体処理のための電子ビーム強化式分離型プラズマ源	2017年 1月26日
特開 2017-14614	オンデマンド充填アンプルの補充	2017年 1月19日
特開 2017-14615	フッ素含有量が少ないタングステン膜	2017年 1月19日

79 件中 61-75 件を表示

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2017-50535 2017-41631 2017-36493 2017-37831 2017-37846 2017-34234 2017-34245 2017-34257 2017-25326 2017-28268 2017-20102 2017-22368 2017-22392 2017-14614 2017-14615

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