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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6349257	ハイブリッドパルス化プラズマ処理システム	2018年 6月27日
特許 6338754	不活性ガスから生成される準安定ガスを使用する原子層エッチング	2018年 6月 6日
特許 6334189	ウェハ保持装置上のメッキの検知	2018年 5月30日
特許 6335458	損傷したエポキシを静電チャックから除去する方法	2018年 5月30日
特許 6335538	プラズマ処理室用のガス分配部材を製造する方法	2018年 5月30日
特許 6335688	コンダクタンス制御を有する化学蒸着装置	2018年 5月30日
特許 6325448	プラズマ処理システムにおける不活性物優勢パルス化	2018年 5月16日
特許 6321937	剥離乾燥装置及び方法	2018年 5月 9日
特許 6302000	静電チャックアセンブリ及びプラズマ処理装置	2018年 3月28日
特許 6293497	ウェハバイアスを決定するための方法およびプラズマシステム	2018年 3月14日
特許 6289860	プラズマエッチングチャンバ用のＴＣＣＴマッチング回路	2018年 3月 7日
特許 6279535	プラズマ処理システムを制御するための方法および装置	2018年 2月14日
特許 6279544	プラズマ処理システムにおいてＲＦ電流路を選択的に修正するための方法及び装置	2018年 2月14日
特許 6276005	半導体基板支持体、及び、半導体基板をエッチングする方法	2018年 2月 7日
特許 6276697	対称的なＲＦ供給のための周囲ＲＦフィードおよび対称ＲＦリターン	2018年 2月 7日

36 件中 16-30 件を表示

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6349257 6338754 6334189 6335458 6335538 6335688 6325448 6321937 6302000 6293497 6289860 6279535 6279544 6276005 6276697

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