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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6749749	銅バリア膜をエッチングするための新規方法	2020年 9月 2日
特許 6749764	非晶質炭素ハードマスク膜の炭素‐水素含有量を減少させるシステムおよび方法	2020年 9月 2日
特許 6745310	完全浸漬された無空気の帰還流量制御弁を用いた気泡および発泡解消方法	2020年 8月26日
特許 6742077	フッ素非含有タングステンで高アスペクト比フィーチャを充填する方法	2020年 8月19日
特許 6742720	酸化物層のエッチング方法及びエッチング装置	2020年 8月19日
特許 6739940	埋め込み電極を伴うガス分配セラミック板	2020年 8月12日
特許 6727780	腐食センサ保持器アセンブリ、ガスブロック、真空チャンバ、及び、腐食を予測する方法	2020年 7月22日
特許 6710032	ＡＬＤにより形成される窒化シリコン膜の表面形状内ウェットエッチング速度を均一に低下させるための方法及び装置	2020年 6月17日
特許 6692598	プラズマシステム及びフィルタを備えるシステム	2020年 5月13日
特許 6689565	硫黄ドープ炭素ハードマスク	2020年 4月28日
特許 6679222	反応性の分子パージガスを使用したＲＦプラズマベースの基板処理システムにおける欠陥制御及びＤＣバイアス安定性の向上	2020年 4月15日
特許 6681953	金属シード層上の金属酸化物を還元するための方法および装置	2020年 4月15日
特許 6676094	プラズマ処理システムにおける不活性物優勢パルス化	2020年 4月 8日
特許 6670576	均一なＲＦ電力供給のための導電性ガスケットを含むＥＳＣアセンブリ	2020年 3月25日
特許 6671411	ウェハ保持装置上のメッキの検知	2020年 3月25日

36 件中 16-30 件を表示

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6749749 6749764 6745310 6742077 6742720 6739940 6727780 6710032 6692598 6689565 6679222 6681953 6676094 6670576 6671411

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