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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第499位 66件 (2019年:第1534位 16件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第614位 36件 (2019年:第656位 34件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6671446 | デュアルチャンバ構成のパルスプラズマチャンバ | 2020年 3月25日 | |
特許 6646953 | 半導体基板処理装置での調整可能な対流−拡散ガス流のための中央ガスインジェクタを含むセラミックシャワーヘッド | 2020年 2月14日 | |
特許 6646978 | 高アスペクト比構造におけるコンタクト洗浄 | 2020年 2月14日 | |
特許 6643860 | プラズマシステムでの不良に関連する構成要素の識別 | 2020年 2月12日 | |
特許 6641077 | デュアルプラズマ源リアクタによるウエハ処理のためのイオン対中性種の制御 | 2020年 2月 5日 | |
特許 6633275 | デクランプ電極を備えた静電チャックと脱離方法 | 2020年 1月22日 |
36 件中 31-36 件を表示
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6671446 6646953 6646978 6643860 6641077 6633275
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11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
12月2日(月) - 滋賀 草津市
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12月2日(月) -
12月4日(水) - 東京 千代田区
12月4日(水) - 東京 港区
12月4日(水) -
12月4日(水) - 大阪 大阪市
12月5日(木) - 東京 港区
12月5日(木) -
12月5日(木) -
12月5日(木) - 大阪 大阪市
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12月6日(金) -
12月6日(金) - 愛知 豊橋市花田町
12月6日(金) -
12月2日(月) - 滋賀 草津市
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