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  2022年 特許取得件数ランキング    第512位 53件 下降2021年:第407位 63件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7045368 複雑な多変量ウエハ処理機器における機械学習を実行する方法及びプロセス 2022年 3月31日
特許 7037894 複数のステーションにおけるウエハの反りの制御 2022年 3月17日
特許 7035246 エッジリングの位置決めおよびセンタリング機構を組み込んだプラズマシース調整のための交換可能および/または折りたたみ式エッジリングアセンブリ 2022年 3月14日
特許 7027050 ギャップ充填時の蒸着およびエッチングのための装置および方法 2022年 3月 1日
特許 7023376 単一プラズマ室における、フィン電界効果トランジスタ形成のための原子層堆積及びエッチング 2022年 2月21日
特許 7022537 プラズマ支援および熱原子層堆積プロセスによる窒化膜形成 2022年 2月18日
特許 7020772 統合バッファを備えたウエハ搬送アセンブリ 2022年 2月16日
特許 7018703 静電チャック用の凸形の内面を有する環状エッジシール 2022年 2月14日

53 件中 46-53 件を表示

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7045368 7037894 7035246 7027050 7023376 7022537 7020772 7018703

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