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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7381526 | 減圧乾燥装置、減圧乾燥方法およびプログラム | 2023年11月15日 | |
特許 7379141 | 基板保持装置、基板処理方法 | 2023年11月14日 | |
特許 7379183 | ステージ姿勢推定装置、搬送装置、およびステージ姿勢推定方法 | 2023年11月14日 | |
特許 7379235 | 基材搬送装置、印刷装置、塗工装置および基材ロール径取得方法 | 2023年11月14日 | |
特許 7378556 | 基板処理装置 | 2023年11月13日 | |
特許 7377653 | 熱処理方法および熱処理装置 | 2023年11月10日 | |
特許 7377659 | 基板処理装置 | 2023年11月10日 | |
特許 7377026 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2023年11月 9日 | |
特許 7376285 | 基板処理装置 | 2023年11月 8日 | |
特許 7376294 | 熱処理装置、熱処理システムおよび熱処理方法 | 2023年11月 8日 | |
特許 7376317 | 基板処理方法 | 2023年11月 8日 | |
特許 7376370 | 印刷装置 | 2023年11月 8日 | |
特許 7376420 | 基板保持装置およびそれを備える基板搬送装置 | 2023年11月 8日 | |
特許 7376424 | 基板処理用の処理液の交換方法および基板処理装置 | 2023年11月 8日 | |
特許 7374683 | 基板搬送装置および基板搬送装置のハンドの位置補正方法 | 2023年11月 7日 |
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7381526 7379141 7379183 7379235 7378556 7377653 7377659 7377026 7376285 7376294 7376317 7376370 7376420 7376424 7374683
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