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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第450位 88件 (2016年:第354位 106件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第453位 58件 (2016年:第493位 56件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2017-152480 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2017年 8月31日 | |
特開 2017-152485 | 診断方法、荷電粒子ビーム描画装置、及びプログラム | 2017年 8月31日 | |
特開 2017-143147 | 荷電粒子ビーム描画装置 | 2017年 8月17日 | |
特開 2017-143180 | ナノインプリントリソグラフィ用微細パターンの形成方法 | 2017年 8月17日 | |
特開 2017-143187 | 成形アパーチャアレイの評価方法 | 2017年 8月17日 | |
特開 2017-143235 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 | 2017年 8月17日 | |
特開 2017-143241 | 気相成長速度測定装置、気相成長装置および成長速度検出方法 | 2017年 8月17日 | |
特開 2017-138250 | パターンの線幅測定装置及びパターンの線幅測定方法 | 2017年 8月10日 | |
特開 2017-135170 | 気相成長装置及び気相成長方法 | 2017年 8月 3日 | |
特開 2017-135200 | フォトインタラプタおよび荷電粒子ビーム描画装置 | 2017年 8月 3日 | |
特開 2017-129385 | マスク検査方法およびマスク検査装置 | 2017年 7月27日 | |
特開 2017-129629 | パターン検査装置 | 2017年 7月27日 | |
特開 2017-129634 | マスク検査方法およびマスク検査装置 | 2017年 7月27日 | |
特開 2017-130523 | マルチ荷電粒子ビーム露光方法及びマルチ荷電粒子ビーム露光装置 | 2017年 7月27日 | |
特開 2017-126674 | マルチ荷電粒子ビーム描画方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2017年 7月20日 |
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2017-152480 2017-152485 2017-143147 2017-143180 2017-143187 2017-143235 2017-143241 2017-138250 2017-135170 2017-135200 2017-129385 2017-129629 2017-129634 2017-130523 2017-126674
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11月22日(金) -
11月22日(金) - 東京 千代田区
11月22日(金) - 東京 港区
11月22日(金) -
11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
11月22日(金) -
11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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