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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2017年 出願公開件数ランキング    第450位 88件 下降2016年:第354位 106件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第453位 58件 上昇2016年:第493位 56件)

(ランキング更新日:2021年9月16日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6252403 アパーチャ部材製造方法 2017年12月27日
特許 6253924 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2017年12月27日
特許 6255191 検査装置および検査方法 2017年12月27日
特許 6251559 試料支持装置 2017年12月20日
特許 6251647 マスク検査装置及びマスク検査方法 2017年12月20日
特許 6251648 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法 2017年12月20日
特許 6248134 荷電粒子ビーム描画装置 2017年12月13日
特許 6240045 異常検出方法及び電子線描画装置 2017年11月29日
特許 6236216 検査装置および検査方法 2017年11月22日
特許 6230881 マルチ荷電粒子ビームのブランキング装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2017年11月15日
特許 6226677 半導体製造装置および半導体製造方法 2017年11月 8日
特許 6228751 検査装置 2017年11月 8日
特許 6220521 検査装置 2017年10月25日
特許 6220553 焦点位置調整方法および検査方法 2017年10月25日
特許 6214441 偏向器用クリーニング装置及び偏向器のクリーニング方法 2017年10月18日

59 件中 1-15 件を表示

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6252403 6253924 6255191 6251559 6251647 6251648 6248134 6240045 6236216 6230881 6226677 6228751 6220521 6220553 6214441

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