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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2019年 出願公開件数ランキング    第387位 99件 上昇2018年:第415位 83件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第385位 68件 上昇2018年:第450位 58件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6591348 検査方法 2019年10月16日
特許 6591377 気相成長速度測定装置、気相成長装置および成長速度検出方法 2019年10月16日
特許 6587887 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2019年10月 9日
特許 6587994 ブランキングアパーチャアレイ装置、荷電粒子ビーム描画装置、および電極テスト方法 2019年10月 9日
特許 6579032 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2019年 9月25日
特許 6579052 電子ビーム描画装置及び電子ビーム描画方法 2019年 9月25日
特許 6581520 荷電粒子ビーム描画装置 2019年 9月25日
特許 6575455 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2019年 9月18日
特許 6577787 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2019年 9月18日
特許 6578118 撮像装置、検査装置および検査方法 2019年 9月18日
特許 6578158 気相成長装置及び気相成長方法 2019年 9月18日
特許 6572347 描画データの作成方法 2019年 9月11日
特許 6570966 温度測定マスクおよび温度測定方法 2019年 9月 4日
特許 6571550 ヒータおよびこれを用いた半導体製造装置 2019年 9月 4日
特許 6567843 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2019年 8月28日

68 件中 16-30 件を表示

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6591348 6591377 6587887 6587994 6579032 6579052 6581520 6575455 6577787 6578118 6578158 6572347 6570966 6571550 6567843

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