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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2021年 出願公開件数ランキング    第595位 53件 下降2020年:第433位 79件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第483位 50件 下降2020年:第402位 64件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6981811 パターン検査装置及びパターン検査方法 2021年12月17日
特許 6982992 導通接点針 2021年12月17日
特許 6980511 半導体装置の製造方法 2021年12月15日
特許 6980631 検査方法および検査装置 2021年12月15日
特許 6981170 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2021年12月15日
特許 6981380 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2021年12月15日
特許 6977528 マルチビーム用アパーチャセット 2021年12月 8日
特許 6966317 カソード 2021年11月17日
特許 6966319 マルチビーム画像取得装置及びマルチビーム画像取得方法 2021年11月17日
特許 6966342 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2021年11月17日
特許 6967403 気相成長方法 2021年11月17日
特許 6966255 画像取得装置の光学系調整方法 2021年11月10日
特許 6962255 アパーチャ部材及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 2021年11月 5日
特許 6957998 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム調整方法 2021年11月 2日
特許 6953276 描画装置およびその制御方法 2021年10月27日

51 件中 1-15 件を表示

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6981811 6982992 6980511 6980631 6981170 6981380 6977528 6966317 6966319 6966342 6967403 6966255 6962255 6957998 6953276

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