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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第595位 53件
(
2020年:第433位 79件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第483位 50件
(
2020年:第402位 64件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6981811 | パターン検査装置及びパターン検査方法 | 2021年12月17日 | |
| 特許 6982992 | 導通接点針 | 2021年12月17日 | |
| 特許 6980511 | 半導体装置の製造方法 | 2021年12月15日 | |
| 特許 6980631 | 検査方法および検査装置 | 2021年12月15日 | |
| 特許 6981170 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2021年12月15日 | |
| 特許 6981380 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2021年12月15日 | |
| 特許 6977528 | マルチビーム用アパーチャセット | 2021年12月 8日 | |
| 特許 6966317 | カソード | 2021年11月17日 | |
| 特許 6966319 | マルチビーム画像取得装置及びマルチビーム画像取得方法 | 2021年11月17日 | |
| 特許 6966342 | 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | 2021年11月17日 | |
| 特許 6967403 | 気相成長方法 | 2021年11月17日 | |
| 特許 6966255 | 画像取得装置の光学系調整方法 | 2021年11月10日 | |
| 特許 6962255 | アパーチャ部材及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2021年11月 5日 | |
| 特許 6957998 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム調整方法 | 2021年11月 2日 | |
| 特許 6953276 | 描画装置およびその制御方法 | 2021年10月27日 |
51 件中 1-15 件を表示
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6981811 6982992 6980511 6980631 6981170 6981380 6977528 6966317 6966319 6966342 6967403 6966255 6962255 6957998 6953276
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