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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第572位 53件
(2021年:第595位 53件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第398位 74件
(2021年:第483位 50件)
(ランキング更新日:2025年4月4日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7198092 | マルチ電子ビーム照射装置、マルチ電子ビーム検査装置及びマルチ電子ビーム照射方法 | 2022年12月28日 | |
特許 7196792 | マルチビーム描画方法及びマルチビーム描画装置 | 2022年12月27日 | |
特許 7195210 | 荷電粒子発生装置 | 2022年12月23日 | |
特許 7194572 | マルチ電子ビーム検査装置 | 2022年12月22日 | |
特許 7192254 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びその調整方法 | 2022年12月20日 | |
特許 7189729 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置およびマルチ荷電粒子ビーム描画方法 | 2022年12月14日 | |
特許 7189794 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 | 2022年12月14日 | |
特許 7180515 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 | 2022年11月30日 | |
特許 7180984 | 気相成長方法 | 2022年11月30日 | |
特許 7178944 | ステージ装置 | 2022年11月28日 | |
特許 7176480 | マルチ荷電粒子ビーム描画方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2022年11月22日 | |
特許 7172420 | 描画データ生成方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2022年11月16日 | |
特許 7171378 | マルチ電子ビーム検査装置及びマルチ電子ビーム検査方法 | 2022年11月15日 | |
特許 7167750 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2022年11月 9日 | |
特許 7167842 | 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | 2022年11月 9日 |
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7198092 7196792 7195210 7194572 7192254 7189729 7189794 7180515 7180984 7178944 7176480 7172420 7171378 7167750 7167842
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4月4日(金) -
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4月11日(金) -
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