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株式会社ニューフレアテクノロジー

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7198092 マルチ電子ビーム照射装置、マルチ電子ビーム検査装置及びマルチ電子ビーム照射方法 2022年12月28日
特許 7196792 マルチビーム描画方法及びマルチビーム描画装置 2022年12月27日
特許 7195210 荷電粒子発生装置 2022年12月23日
特許 7194572 マルチ電子ビーム検査装置 2022年12月22日
特許 7192254 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びその調整方法 2022年12月20日
特許 7189729 マルチ荷電粒子ビーム描画装置およびマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2022年12月14日
特許 7189794 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2022年12月14日
特許 7180515 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2022年11月30日
特許 7180984 気相成長方法 2022年11月30日
特許 7178944 ステージ装置 2022年11月28日
特許 7176480 マルチ荷電粒子ビーム描画方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 2022年11月22日
特許 7172420 描画データ生成方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 2022年11月16日
特許 7171378 マルチ電子ビーム検査装置及びマルチ電子ビーム検査方法 2022年11月15日
特許 7167750 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2022年11月 9日
特許 7167842 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2022年11月 9日

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7198092 7196792 7195210 7194572 7192254 7189729 7189794 7180515 7180984 7178944 7176480 7172420 7171378 7167750 7167842

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