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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第387位 99件
(2018年:第415位 83件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第385位 68件
(2018年:第450位 58件)
(ランキング更新日:2025年4月14日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6515835 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2019年 5月22日 | |
特許 6518415 | 撮像装置、検査装置および検査方法 | 2019年 5月22日 | |
特許 6513582 | マスク検査方法およびマスク検査装置 | 2019年 5月15日 | |
特許 6513951 | 検査方法 | 2019年 5月15日 | |
特許 6515013 | 検査装置および検査方法 | 2019年 5月15日 | |
特許 6500383 | ブランキングアパーチャアレイ及び荷電粒子ビーム描画装置 | 2019年 4月17日 | |
特許 6502230 | 検査装置および検査方法 | 2019年 4月17日 | |
特許 6499493 | 気相成長方法 | 2019年 4月10日 | |
特許 6499898 | 検査方法、テンプレート基板およびフォーカスオフセット方法 | 2019年 4月10日 | |
特許 6493049 | 描画データ作成方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | 2019年 4月 3日 | |
特許 6480534 | 荷電粒子ビーム照射装置及び基板の帯電低減方法 | 2019年 3月13日 | |
特許 6484491 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2019年 3月13日 | |
特許 6477229 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2019年 3月 6日 | |
特許 6478782 | ビームドリフト量の測定方法 | 2019年 3月 6日 | |
特許 6478879 | オゾン供給装置、オゾン供給方法、荷電粒子ビーム描画システム、および荷電粒子ビーム描画方法 | 2019年 3月 6日 |
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6515835 6518415 6513582 6513951 6515013 6500383 6502230 6499493 6499898 6493049 6480534 6484491 6477229 6478782 6478879
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4月23日(水) - 東京 千代田区
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4月24日(木) - 東京 港区
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4月21日(月) -
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