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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第415位 83件
(2017年:第450位 88件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第450位 58件
(2017年:第453位 58件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6444641 | 成膜装置、サセプタ、及び成膜方法 | 2018年12月26日 | |
特許 6446297 | 検査装置 | 2018年12月26日 | |
特許 6439620 | 電子源のクリーニング方法及び電子ビーム描画装置 | 2018年12月19日 | |
特許 6442234 | 気相成長装置、貯留容器および気相成長方法 | 2018年12月19日 | |
特許 6442295 | マルチ荷電粒子ビーム像の回転角測定方法、マルチ荷電粒子ビーム像の回転角調整方法、及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2018年12月19日 | |
特許 6437266 | 基板カバー | 2018年12月12日 | |
特許 6438280 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 | 2018年12月12日 | |
特許 6428518 | データ生成装置、エネルギービーム描画装置、及びエネルギービーム描画方法 | 2018年11月28日 | |
特許 6430307 | 曲率測定装置及び曲率測定方法 | 2018年11月28日 | |
特許 6430337 | 気相成長方法および気相成長装置 | 2018年11月28日 | |
特許 6431786 | 線幅誤差取得方法、線幅誤差取得装置および検査システム | 2018年11月28日 | |
特許 6426999 | 気相成長装置および気相成長方法 | 2018年11月21日 | |
特許 6424143 | 検査方法およびテンプレート | 2018年11月14日 | |
特許 6420998 | 電子銃装置 | 2018年11月 7日 | |
特許 6410618 | 欠陥検査装置 | 2018年10月24日 |
59 件中 1-15 件を表示
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6444641 6446297 6439620 6442234 6442295 6437266 6438280 6428518 6430307 6430337 6431786 6426999 6424143 6420998 6410618
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