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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6804260 | 検査装置および変位量検出方法 | 2020年12月23日 | |
特許 6804389 | 描画装置および描画方法 | 2020年12月23日 | |
特許 6804954 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2020年12月23日 | |
特許 6799967 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2020年12月16日 | |
特許 6800800 | 成長速度測定装置および成長速度検出方法 | 2020年12月16日 | |
特許 6796172 | 気相成長装置及び気相成長方法 | 2020年12月 2日 | |
特許 6789774 | 成膜装置 | 2020年11月25日 | |
特許 6791051 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 | 2020年11月25日 | |
特許 6792083 | 気相成長装置、及び、気相成長方法 | 2020年11月25日 | |
特許 6786307 | 気相成長方法 | 2020年11月18日 | |
特許 6779847 | 荷電粒子装置、荷電粒子描画装置および荷電粒子ビーム制御方法 | 2020年11月 4日 | |
特許 6780441 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2020年11月 4日 | |
特許 6781582 | 電子ビーム検査装置及び電子ビーム検査方法 | 2020年11月 4日 | |
特許 6781615 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2020年11月 4日 | |
特許 6772110 | 検査装置 | 2020年10月21日 |
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6804260 6804389 6804954 6799967 6800800 6796172 6789774 6791051 6792083 6786307 6779847 6780441 6781582 6781615 6772110
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11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
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11月27日(水) -
11月27日(水) -
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11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
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11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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