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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2016年 出願公開件数ランキング    第354位 106件 上昇2015年:第475位 70件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第493位 56件 下降2015年:第385位 67件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6047418 検査方法および検査装置 2016年12月21日
特許 6042158 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2016年12月14日
特許 6043125 セトリング時間の取得方法 2016年12月14日
特許 6043583 焦点位置検出装置、検査装置、焦点位置検出方法および検査方法 2016年12月14日
特許 6043662 検査方法および検査装置 2016年12月14日
特許 6038618 成膜装置および成膜方法 2016年12月 7日
特許 6039970 セトリング時間の設定方法、荷電粒子ビーム描画方法、および荷電粒子ビーム描画装置 2016年12月 7日
特許 6040046 荷電粒子ビーム描画装置、および荷電粒子ビーム描画方法 2016年12月 7日
特許 6025419 検査方法および検査装置 2016年11月16日
特許 6025489 検査装置および検査装置システム 2016年11月16日
特許 6026333 成膜装置および成膜方法 2016年11月16日
特許 6027798 荷電粒子ビーム描画装置及び多重描画用の荷電粒子ビームの照射時間振り分け方法 2016年11月16日
特許 6018811 ドリフト補正方法および描画データの作成方法 2016年11月 2日
特許 6018929 検査方法 2016年11月 2日
特許 6013089 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2016年10月25日

56 件中 1-15 件を表示

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6047418 6042158 6043125 6043583 6043662 6038618 6039970 6040046 6025419 6025489 6026333 6027798 6018811 6018929 6013089

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