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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第387位 99件
(
2018年:第415位 83件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第385位 68件
(
2018年:第450位 58件)
(ランキング更新日:2026年3月9日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6625478 | パターン欠陥検査方法およびパターン欠陥検査装置 | 2019年12月25日 | |
| 特許 6625711 | 曲率測定装置及び曲率測定方法 | 2019年12月25日 | |
| 特許 6618876 | 基板処理装置、搬送方法およびサセプタ | 2019年12月11日 | |
| 特許 6616986 | マルチ荷電粒子ビーム描画方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2019年12月 4日 | |
| 特許 6617066 | 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | 2019年12月 4日 | |
| 特許 6608329 | 荷電粒子ビーム装置 | 2019年11月20日 | |
| 特許 6605197 | 気相成長方法および気相成長装置 | 2019年11月13日 | |
| 特許 6606403 | シャワープレート、気相成長装置および気相成長方法 | 2019年11月13日 | |
| 特許 6603108 | 荷電粒子ビームの照射量補正用パラメータの取得方法、荷電粒子ビーム描画方法、及び荷電粒子ビーム描画装置 | 2019年11月 6日 | |
| 特許 6593090 | 支持ケース及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2019年10月23日 | |
| 特許 6589597 | アパーチャのアライメント方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2019年10月16日 | |
| 特許 6589758 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 | 2019年10月16日 | |
| 特許 6590518 | 荷電粒子ビーム描画装置、及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2019年10月16日 | |
| 特許 6590542 | 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | 2019年10月16日 | |
| 特許 6590591 | マルチ荷電粒子ビームのブランキング装置の検査方法 | 2019年10月16日 |
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6625478 6625711 6618876 6616986 6617066 6608329 6605197 6606403 6603108 6593090 6589597 6589758 6590518 6590542 6590591
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