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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2019年 出願公開件数ランキング    第387位 99件 上昇2018年:第415位 83件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第385位 68件 上昇2018年:第450位 58件)

(ランキング更新日:2021年7月29日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6625478 パターン欠陥検査方法およびパターン欠陥検査装置 2019年12月25日
特許 6625711 曲率測定装置及び曲率測定方法 2019年12月25日
特許 6618876 基板処理装置、搬送方法およびサセプタ 2019年12月11日
特許 6616986 マルチ荷電粒子ビーム描画方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 2019年12月 4日
特許 6617066 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2019年12月 4日
特許 6608329 荷電粒子ビーム装置 2019年11月20日
特許 6605197 気相成長方法および気相成長装置 2019年11月13日
特許 6606403 シャワープレート、気相成長装置および気相成長方法 2019年11月13日
特許 6603108 荷電粒子ビームの照射量補正用パラメータの取得方法、荷電粒子ビーム描画方法、及び荷電粒子ビーム描画装置 2019年11月 6日
特許 6593090 支持ケース及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 2019年10月23日
特許 6589597 アパーチャのアライメント方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 2019年10月16日
特許 6589758 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2019年10月16日
特許 6590518 荷電粒子ビーム描画装置、及び荷電粒子ビーム描画方法 2019年10月16日
特許 6590542 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2019年10月16日
特許 6590591 マルチ荷電粒子ビームのブランキング装置の検査方法 2019年10月16日

68 件中 1-15 件を表示

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6625478 6625711 6618876 6616986 6617066 6608329 6605197 6606403 6603108 6593090 6589597 6589758 6590518 6590542 6590591

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