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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第263位 162件
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2014年: 0件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第236位 126件
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2014年: 0件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特表 2015-530484 | 粒子フリーの回転ターゲット及びそれを製造する方法 | 2015年10月15日 | |
| 特表 2015-530737 | 高度なデバイスのウェハ上の粒子性能に対して化学的適合性のあるコーティング材料 | 2015年10月15日 | |
| 特表 2015-530742 | 半導体処理のための流動可能な炭素 | 2015年10月15日 | |
| 特表 2015-529748 | 低温アニールを用いる電気化学デバイス製造プロセス | 2015年10月 8日 | |
| 特表 2015-529938 | 同軸RFフィード及び同軸シールドを有する対称誘導結合プラズマ源 | 2015年10月 8日 | |
| 特表 2015-529969 | マルチゾーン温度制御および多パージ機能を有するペデスタル | 2015年10月 8日 | |
| 特表 2015-529972 | 改善された制御のためにDC支援RF電力を使用する半導体処理 | 2015年10月 8日 | |
| 特表 2015-529984 | ウェハ処理機器の化学制御機構 | 2015年10月 8日 | |
| 特表 2015-529395 | UVチャンバを洗浄するための方法及びハードウェア | 2015年10月 5日 | |
| 特表 2015-529405 | 炭窒化ケイ素の選択的エッチング | 2015年10月 5日 | |
| 特表 2015-529007 | 気相化学曝露による低誘電率誘電体の損傷修復 | 2015年10月 1日 | |
| 特表 2015-529009 | 物理的気相成長法による窒化アルミニウムの緩衝及び活性層 | 2015年10月 1日 | |
| 特表 2015-529011 | 多孔性低誘電率膜の誘電率を低減させる方法 | 2015年10月 1日 | |
| 特開 2015-172240 | スパッタされた材料の層を形成するシステムおよび方法 | 2015年10月 1日 | |
| 特開 2015-172242 | 原子層堆積窒化ケイ素膜のインシトゥ炭素及び酸化物ドーピング | 2015年10月 1日 |
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2015-530484 2015-530737 2015-530742 2015-529748 2015-529938 2015-529969 2015-529972 2015-529984 2015-529395 2015-529405 2015-529007 2015-529009 2015-529011 2015-172240 2015-172242
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