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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第263位 162件
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2014年: 0件)
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2014年: 0件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2015-173264 | 高圧急速熱処理のための装置および方法 | 2015年10月 1日 | |
| 特表 2015-528647 | 差異的な酸化ケイ素エッチング | 2015年 9月28日 | |
| 特表 2015-528060 | ガス混合装置 | 2015年 9月24日 | |
| 特表 2015-528211 | ダイシングされたウェハの輸送方法 | 2015年 9月24日 | |
| 特表 2015-528212 | ウェハダイシングのためのレーザ、プラズマエッチング、及び裏面研削プロセス | 2015年 9月24日 | |
| 特開 2015-166494 | 電気化学堆積の装置および方法 | 2015年 9月24日 | |
| 特表 2015-527750 | 基板処理システム及び基板を移動する方法 | 2015年 9月17日 | |
| 特表 2015-526303 | 保持リングの厚さをモニタすること及び圧力制御 | 2015年 9月10日 | |
| 特表 2015-526877 | 固体電池の製造 | 2015年 9月10日 | |
| 特表 2015-526896 | ブーム駆動装置、マルチアームロボット装置、電子デバイス処理システム、および電子デバイス製造システムにおいて基板を搬送するための方法 | 2015年 9月10日 | |
| 特表 2015-526903 | 遠隔プラズマ源を使用する低温での選択的な酸化のための装置及び方法 | 2015年 9月10日 | |
| 特開 2015-158013 | 基板をコーティングするための方法およびコータ | 2015年 9月 3日 | |
| 特開 2015-159292 | 冷却が改善されたラピッドサーマルプロセシングランプヘッド | 2015年 9月 3日 | |
| 特開 2015-159296 | レーザ・プラズマエッチングによる基板のダイシング用水溶性マスク | 2015年 9月 3日 | |
| 特開 2015-159297 | マルチステップ・非対称形状レーザビームスクライビング | 2015年 9月 3日 |
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2015-173264 2015-528647 2015-528060 2015-528211 2015-528212 2015-166494 2015-527750 2015-526303 2015-526877 2015-526896 2015-526903 2015-158013 2015-159292 2015-159296 2015-159297
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12月19日(金) - 神奈川 川崎市
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