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アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

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  2020年 出願公開件数ランキング    第138位 311件 上昇2019年:第141位 330件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第136位 210件 上昇2019年:第156位 176件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6715621 プラズマスキュー制御のための遠隔プラズマ源 2020年 7月 1日
特許 6713413 低圧ツール交換を可能にする原子層堆積処理チャンバ 2020年 6月24日
特許 6714571 プロセスリング上の希土類酸化物系薄膜コーティング用イオンアシスト蒸着 2020年 6月24日
特許 6709736 ピクセル型温度制御式基板支持アセンブリ 2020年 6月17日
特許 6709855 半導体処理チャンバ 2020年 6月17日
特許 6710204 プラズマ損傷保護のための多層誘電体スタック 2020年 6月17日
特許 6710217 プラズマ処理システム用の低温チャック 2020年 6月17日
特許 6710694 湿式化学プロセス中に基板にコンタクトするための摩擦強化パターンを有する周面を用いる圧縮成形物品 2020年 6月17日
特許 6710783 高出力プラズマエッチングプロセスのためのガス分配プレートアセンブリ 2020年 6月17日
特許 6711592 プラズマチャンバ部品用耐プラズマコーティング 2020年 6月17日
特許 6711838 静電チャック表面の半径方向外側パッド設計 2020年 6月17日
特許 6711839 酸化ケイ素薄膜の選択的横成長 2020年 6月17日
特許 6706650 共通の堆積プラットフォーム、処理ステーション、およびその動作方法 2020年 6月10日
特許 6709104 基板リフトピンアクチュエータ 2020年 6月10日
特許 6709164 高温アプリケーション用プラズマ耐食性薄膜コーティング 2020年 6月10日

211 件中 91-105 件を表示

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6715621 6713413 6714571 6709736 6709855 6710204 6710217 6710694 6710783 6711592 6711838 6711839 6706650 6709104 6709164

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