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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第138位 311件 (2019年:第141位 330件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第136位 210件 (2019年:第156位 176件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6702640 | プラズマリアクタ用の強化されたプラズマ源 | 2020年 6月 3日 | |
特許 6702952 | 基板処理チャンバ内で使用するための冷却式プロセスツールアダプタ | 2020年 6月 3日 | |
特許 6703100 | 容積が縮小された処理チャンバ | 2020年 6月 3日 | |
特許 6703937 | 基板堆積システム、ロボット移送装置、及び電子デバイス製造のための方法 | 2020年 6月 3日 | |
特許 6703985 | 印刷による化学機械研磨パッド | 2020年 6月 3日 | |
特許 6704059 | キャリア浮揚システムの整列を判断する方法 | 2020年 6月 3日 | |
特許 6704343 | インライン堆積制御装置及びインライン堆積制御方法 | 2020年 6月 3日 | |
特許 6704348 | 有機材料用の蒸発源 | 2020年 6月 3日 | |
特許 6705776 | 3D NANDハードマスク用途向けナノ結晶ダイヤモンド炭素膜 | 2020年 6月 3日 | |
特許 6706047 | 化学機械研磨プロセスで利用される保持リングのプロファイルおよび表面前処理のための方法および装置 | 2020年 6月 3日 | |
特許 6698871 | 酸素プラズマ洗浄サイクルの使用によるプラズマ軽減固形物回避 | 2020年 5月27日 | |
特許 6694932 | 制御された孔隙率を有する印刷された化学機械研磨パッド | 2020年 5月20日 | |
特許 6695010 | フレキシブルモード走査光学顕微鏡法、及び検査システム | 2020年 5月20日 | |
特許 6695351 | ハロゲン系前駆体から金属配線を保護するための方法及び装置 | 2020年 5月20日 | |
特許 6695884 | サーマルリッドを有する原子層堆積チャンバ | 2020年 5月20日 |
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6702640 6702952 6703100 6703937 6703985 6704059 6704343 6704348 6705776 6706047 6698871 6694932 6695010 6695351 6695884
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11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
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11月27日(水) -
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11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
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11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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