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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第32位 708件
(2022年:第56位 541件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第80位 398件
(2022年:第112位 303件)
(ランキング更新日:2025年6月27日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7237083 | 研磨のインシトゥモニタリングにおけるフィルタリング | 2023年 3月10日 | |
特許 7237162 | 導電性電極を備えたセラミックシャワーヘッド | 2023年 3月10日 | |
特許 7236472 | マルチカソードを用いた堆積システム | 2023年 3月 9日 | |
特許 7236512 | バッフルを有するガス供給部材 | 2023年 3月 9日 | |
特許 7236542 | 別個の共線形ラジカル及びイオンを提供する、走査された角度付きエッチング装置及び技術 | 2023年 3月 9日 | |
特許 7235678 | 真空分離及び前処理環境を伴う高圧アニールチャンバ | 2023年 3月 8日 | |
特許 7235683 | ハードマスク及びその他のパターニング応用のための高密度低温炭素膜 | 2023年 3月 8日 | |
特許 7235729 | 基板のルーティング及びスループットのモデリング | 2023年 3月 8日 | |
特許 7235866 | プロセス開発可視化ツール | 2023年 3月 8日 | |
特許 7234329 | 高圧処理によるタングステンの脱フッ素化 | 2023年 3月 7日 | |
特許 7232892 | 高温プロセスのための基板支持アセンブリ | 2023年 3月 3日 | |
特許 7232181 | スペクトル高周波分析を用いた処理チャンバハードウェア障害検出 | 2023年 3月 2日 | |
特許 7232285 | 特徴を含む内面を有する保持リング | 2023年 3月 2日 | |
特許 7232365 | マイクロ波源およびマイクロ波増幅モジュールのアレー | 2023年 3月 2日 | |
特許 7231353 | 改善されたゲルマニウムエッチングのシステム及び方法 | 2023年 3月 1日 |
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7237083 7237162 7236472 7236512 7236542 7235678 7235683 7235729 7235866 7234329 7232892 7232181 7232285 7232365 7231353
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