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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2017年 出願公開件数ランキング    第501位 77件 下降2016年:第366位 102件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第394位 68件 下降2016年:第337位 92件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2017-515166 多ミラー配置内の複数の調節可能ミラー要素の位置決めを制御するためのデバイス及び方法 2017年 6月 8日
特開 2017-102481 中間像を有するカタジオプトリック投影対物レンズ 2017年 6月 8日
特表 2017-512998 偏光パラメータを測定するための測定装置 2017年 5月25日
特表 2017-513059 マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明デバイスのためのEUV光源 2017年 5月25日
特表 2017-513060 マイクロリソグラフィ投影露光装置のミラーを位置合わせする方法 2017年 5月25日
特表 2017-513064 素子を作動させるための方法および装置 2017年 5月25日
特開 2017-83824 光学アセンブリ、投影系、計測系、及びEUVリソグラフィー装置 2017年 5月18日
特開 2017-83856 光学系の少なくとも1つの光学素子を作動させる機構 2017年 5月18日
特表 2017-511498 振動補償光学系、リソグラフィー装置、及びその製造方法 2017年 4月20日
特表 2017-511507 変形装置を備えた光学モジュール及び光学素子を変形させる方法 2017年 4月20日
特開 2017-75935 荷電試料面を検査する方法及びデバイス 2017年 4月20日
特表 2017-510842 光学素子及び光学素子を備えた光学装置 2017年 4月13日
特表 2017-509913 ビーム伝播カメラ及び光ビーム解析の方法 2017年 4月 6日
特表 2017-509918 ミラーアレイ 2017年 4月 6日
特表 2017-509920 マイクロリソグラフィ投影露光装置のミラー 2017年 4月 6日

80 件中 46-60 件を表示

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2017-515166 2017-102481 2017-512998 2017-513059 2017-513060 2017-513064 2017-83824 2017-83856 2017-511498 2017-511507 2017-75935 2017-510842 2017-509913 2017-509918 2017-509920

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