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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2017年 出願公開件数ランキング    第501位 77件 下降2016年:第366位 102件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第394位 68件 下降2016年:第337位 92件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2017-509922 光学構成要素 2017年 4月 6日
特表 2017-509017 投影露光系の物体視野を照明する方法 2017年 3月30日
特表 2017-508183 ビーム分配光学デバイス、このタイプのビーム分配光学デバイスを含む照明光学ユニット、このタイプの照明光学ユニットを含む光学系、及びこのタイプの光学系を含む投影照明装置 2017年 3月23日
特表 2017-507355 マイクロリソグラフィ投影露光系の照明系及びそのような照明系を作動させる方法 2017年 3月16日
特表 2017-507356 投影リソグラフィのための照明光学ユニット 2017年 3月16日
特表 2017-507358 特にマイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系のサブアセンブリ 2017年 3月16日
特表 2017-507359 マイクロリソグラフィ投影露光系の照明系及びそのような照明系を作動させる方法 2017年 3月16日
特開 2017-54131 マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系 2017年 3月16日
特表 2017-506766 少なくとも1つの光学コンポーネントを変位させる方法 2017年 3月 9日
特表 2017-506358 リソグラフィ装置および方法 2017年 3月 2日
特表 2017-506363 ミラー素子を製造する方法 2017年 3月 2日
特表 2017-505925 EUVミラー及びEUVミラーを備えた光学系 2017年 2月23日
特開 2017-40939 マイクロリソグラフィ投影対物レンズ 2017年 2月23日
特表 2017-504790 EUV光学系の試験デバイス 2017年 2月 9日
特表 2017-504012 球面−非点収差光学面を測定する方法 2017年 2月 2日

80 件中 61-75 件を表示

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2017-509922 2017-509017 2017-508183 2017-507355 2017-507356 2017-507358 2017-507359 2017-54131 2017-506766 2017-506358 2017-506363 2017-505925 2017-40939 2017-504790 2017-504012

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