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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2020-115216	反射光学素子を製造する方法、反射光学素子および反射光学素子の使用	2020年 7月30日
特開 2020-112786	マイクロリソグラフィ投影露光装置に関してマニピュレータを制御する制御装置及び方法	2020年 7月27日
特開 2020-112796	投影露光装置用の光学系	2020年 7月27日
特開 2020-109533	物体視野を像視野内に結像するための投影光学ユニット及びそのような投影光学ユニットを含む投影露光装置	2020年 7月16日
特表 2020-520477	瞳透過率の設定による投影露光方法および投影レンズ	2020年 7月 9日
特表 2020-517559	材料除去を決定する方法及びワークのビーム加工装置	2020年 6月18日
特表 2020-515844	物体、ウェハ、及びマスクブランクの表面上の粒子を検出する方法	2020年 5月28日
特表 2020-514814	組立誤差を特定する方法	2020年 5月21日
特開 2020-73949	ＥＵＶ投影リソグラフィのための照明系及び照明光学ユニット	2020年 5月14日
特開 2020-74040	投影リソグラフィのための照明光学ユニット	2020年 5月14日
特表 2020-512563	走査型プローブ顕微鏡のための装置および方法	2020年 4月23日
特表 2020-512586	メトロロジターゲット	2020年 4月23日
特開 2020-64303	圧電装置を備える光学結像装置	2020年 4月23日
特表 2020-509413	５ｎｍ〜２０ｎｍの波長域用の反射光学素子を補正する方法	2020年 3月26日
特開 2020-46680	リソグラフィ装置および方法	2020年 3月26日

36 件中 16-30 件を表示

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2020-115216 2020-112786 2020-112796 2020-109533 2020-520477 2020-517559 2020-515844 2020-514814 2020-73949 2020-74040 2020-512563 2020-512586 2020-64303 2020-509413 2020-46680

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