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■ 2020年 特許取得件数ランキング 第314位 86件 (2019年:第331位 81件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6758309 | フォーカスエラー感応性が減少した光学的計測 | 2020年 9月23日 | |
特許 6758397 | 欠陥検出システム及び方法 | 2020年 9月23日 | |
特許 6758404 | マルチチャネル光電子増倍管アセンブリ及び検査システム | 2020年 9月23日 | |
特許 6758418 | 半導体用途のための、入力画像からのシミュレーション画像の生成 | 2020年 9月23日 | |
特許 6755323 | 偏光形ウエハ検査のための方法及び装置 | 2020年 9月16日 | |
特許 6745367 | スキャトロメトリ測定システム及び方法 | 2020年 8月26日 | |
特許 6741787 | 照明ビームの位置ずれの補償のためのシステムおよび方法 | 2020年 8月19日 | |
特許 6737799 | 連続波レーザ維持プラズマ光源 | 2020年 8月12日 | |
特許 6738327 | 製造プロセスラインに沿ったウェハの放射線および温度暴露を測定するための方法およびシステム | 2020年 8月12日 | |
特許 6739347 | レーザ維持プラズマの横断方向のポンピングのためのシステムおよび方法 | 2020年 8月12日 | |
特許 6739562 | 欠陥検出を強化するための最良の開口及びモードを発見するためのシステム及び方法 | 2020年 8月12日 | |
特許 6735767 | 歪んだウェハをチャッキングするための装置 | 2020年 8月 5日 | |
特許 6735884 | ターゲットのパラメータを決定する方法及び装置 | 2020年 8月 5日 | |
特許 6736583 | 検査システムにおける輻射誘起性偽カウントを低減するシステム及び方法 | 2020年 8月 5日 | |
特許 6727371 | 光維持プラズマを形成するための開放プラズマランプ | 2020年 7月22日 |
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6758309 6758397 6758404 6758418 6755323 6745367 6741787 6737799 6738327 6739347 6739562 6735767 6735884 6736583 6727371
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11月26日(火) - 東京 港区
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11月28日(木) -
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11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
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