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ケーエルエー−テンカー コーポレイション

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 ■ 2020年 出願公開件数ランキング    第337位 101件 (上昇2019年:第388位 92件)

 ■ 2020年 特許取得件数ランキング    第314位 86件 (上昇2019年:第331位 81件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6801110 異方性誘電率を用いた半導体構造のモデル依拠光学計測 2020年12月16日
特許 6797125 高スループットワークインプロセスバッファ用のシステム及び方法 2020年12月 9日
特許 6793644 プラズマベース光源 2020年12月 2日
特許 6790248 高アスペクト比構造測定のための赤外分光反射計 2020年11月25日
特許 6790144 193nmのレーザー検査システム 2020年11月25日
特許 6790123 毛管凝縮を用いた半導体構造体の測定 2020年11月25日
特許 6790099 マルチビーム走査型顕微鏡システムの焦点調整方法及びシステム 2020年11月25日
特許 6789920 被検査物上の関心対象領域の座標決定 2020年11月25日
特許 6789428 サンプルを検査する方法、センサ及びシステム 2020年11月25日
特許 6789295 偏光ターゲットおよび偏光照明を用いた回折光の振幅および位相の制御 2020年11月25日
特許 6785802 パターン化ウェハ幾何計測を用いたプロセス誘起非対称性の検出、定量及び制御 2020年11月18日
特許 6785663 検査のための高解像度フルダイイメージデータの使用 2020年11月18日
特許 6783298 モデルベースのホットスポットモニタリング 2020年11月11日
特許 6782834 広帯域光源を基にマルチチャネル可調照明を生成するシステム及び方法 2020年11月11日
特許 6779229 自動イメージに基づくプロセスモニタリングおよび制御 2020年11月 4日

86 件中 1-15 件を表示

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6801110 6797125 6793644 6790248 6790144 6790123 6790099 6789920 6789428 6789295 6785802 6785663 6783298 6782834 6779229

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