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ケーエルエー−テンカー　コーポレイション

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ケーエルエー−テンカー　コーポレイションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6678233	スポットの２Ｄアレイによる斜め入射走査のシステムおよび方法	2020年 4月 8日
特許 6674909	インライン型のウェハエッジ検査、ウェハプレアラインメント、及びウェハ洗浄	2020年 4月 1日
特許 6671358	１８３ｎｍのレーザーおよび検査システム	2020年 3月25日
特許 6671426	欠陥特定情報を用いるウェハ上の欠陥の検出	2020年 3月25日
特許 6668262	自動的なレシピ安定性の監視および報告	2020年 3月18日
特許 6668408	ＳＥＭオーバーレイ計測のシステムおよび方法	2020年 3月18日
特許 6668533	散乱計測を用いてオーバレイ誤差を検出する装置および方法	2020年 3月18日
特許 6669669	近接場リカバリを利用するレチクル検査	2020年 3月18日
特許 6669923	出力パルス光の生成方法	2020年 3月18日
特許 6663865	ミラーおよび／またはプリズムを用いたレーザ繰返し周波数逓倍器およびフラットトップビームプロファイル生成器	2020年 3月13日
特許 6664402	レーザ維持プラズマ光源の放射性輻射を阻害するシステム及び方法	2020年 3月13日
特許 6661602	多重モードを備えた検査システム及び方法	2020年 3月11日
特許 6657175	高解像度且つ高量子効率の電子衝撃ＣＣＤまたはＣＭＯＳ撮像センサ	2020年 3月 4日
特許 6652511	ウェハ検査中に集光アパーチャ内に位置付けられる光学要素の構成の決定	2020年 2月26日
特許 6653314	検査サイトの準備	2020年 2月26日

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6678233 6674909 6671358 6671426 6668262 6668408 6668533 6669669 6669923 6663865 6664402 6661602 6657175 6652511 6653314

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