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ケーエルエー−テンカー　コーポレイション

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ケーエルエー−テンカー　コーポレイションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6626997	検査システム	2019年12月25日
特許 6617143	構造情報を用いた欠陥検出システム及び方法	2019年12月11日
特許 6618478	射影画像を用いた自動インライン検査及び計測	2019年12月11日
特許 6615120	高い水酸化物含有量を有する透過性部分を含む広帯域光源	2019年12月 4日
特許 6612934	フォトリソグラフィ用レチクルを検査するための検査システム及び方法	2019年11月27日
特許 6608367	電界放出デバイス、システム及び方法	2019年11月20日
特許 6609568	差分ダイおよび差分データベースを利用した検査	2019年11月20日
特許 6602755	計測標的の偏光測定及び対応する標的設計	2019年11月 6日
特許 6598774	レーザ持続プラズマ照明出力により試料を撮像するためのシステム及び方法	2019年10月30日
特許 6598782	位置敏感基板デバイス	2019年10月30日
特許 6598790	カスタマイズされたメトリックスをグローバル分類方法と組み合わせて極高処理能力でプロセスツール状態を監視するウエハおよびロットベースの階層化方法	2019年10月30日
特許 6598889	システム的欠陥フィルターによるレチクル欠陥検査	2019年10月30日
特許 6598914	ウェハおよびレチクル検査システムならびに照明瞳配置を選択するための方法	2019年10月30日
特許 6594345	ウェーハエッジ検出および検査	2019年10月23日
特許 6594876	フォトリソグラフィレチクル認定方法及びシステム	2019年10月23日

81 件中 1-15 件を表示

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6626997 6617143 6618478 6615120 6612934 6608367 6609568 6602755 6598774 6598782 6598790 6598889 6598914 6594345 6594876

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