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ケーエルエー−テンカー コーポレイション

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  2018年 出願公開件数ランキング    第363位 103件 上昇2017年:第422位 98件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第358位 78件 上昇2017年:第472位 54件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6445867 小型高電圧電子銃 2018年12月26日
特許 6440622 サンプル検査システム検出器 2018年12月19日
特許 6440804 照射サブシステム 2018年12月19日
特許 6442592 ホウ素層を有するシリコン基板を含むフォトカソード 2018年12月19日
特許 6437000 浮動型フランジを備えるプラズマセル 2018年12月12日
特許 6437084 レーザ維持プラズマバルブのための気体屈折補償 2018年12月12日
特許 6437146 システム的欠陥フィルターによるレチクル欠陥検査 2018年12月12日
特許 6433522 独立的に調節可能な走査ピッチを有する表面走査検査システム 2018年12月 5日
特許 6425728 多チャネルウェハ裏面検査 2018年11月21日
特許 6415523 光学的検査システム 2018年10月31日
特許 6410707 広範なダイナミックレンジを備えた光電子増倍管、検査システムおよび方法 2018年10月24日
特許 6410794 光維持プラズマにおける対流を制御するための方法及びシステム 2018年10月24日
特許 6411336 超紫外線レチクルの検査装置および方法 2018年10月24日
特許 6411504 ウエハ検査システム内での基板表面の高速高度制御のための方法及びシステム 2018年10月24日
特許 6403675 最小ビームスポットの寸法および位置を決定するシステムおよび方法 2018年10月10日

78 件中 1-15 件を表示

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6445867 6440622 6440804 6442592 6437000 6437084 6437146 6433522 6425728 6415523 6410707 6410794 6411336 6411504 6403675

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