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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6728197 | 反転装置、物品処理システム及び方法 | 2020年 7月22日 | |
特許 6723269 | 焦点感応オーバーレイターゲットを使用する焦点決定のためのシステムおよび方法 | 2020年 7月15日 | |
特許 6724182 | レーザ励起光源においてポンプ(励起)光と集光光とを分離するためのシステム | 2020年 7月15日 | |
特許 6717777 | 試験体の測定または分析のためのシステムおよび方法 | 2020年 7月 8日 | |
特許 6719462 | プロセスウィンドウキャラクタライゼーションのための仮想検査システム | 2020年 7月 8日 | |
特許 6712591 | デジタル整合フィルタによる強化欠陥検出のためのシステムおよび方法 | 2020年 6月24日 | |
特許 6713067 | 荷電粒子ビームモニタシステム | 2020年 6月24日 | |
特許 6701228 | 像ビームの安定化及び識別性が改善された荷電粒子顕微システム及び方法 | 2020年 5月27日 | |
特許 6695895 | 物体の形状分類方法 | 2020年 5月20日 | |
特許 6691704 | 裏面照射型センサのための反射防止層 | 2020年 5月13日 | |
特許 6688294 | 画像ベースの測定および散乱測定ベースのオーバーレイ測定のための信号応答計測 | 2020年 4月28日 | |
特許 6688732 | 多入射角半導体計測システム及び方法 | 2020年 4月28日 | |
特許 6681576 | 検出増強型検査システム及び技術 | 2020年 4月15日 | |
特許 6681890 | プラズマベース光源におけるデブリからの光学素子保護のための装置および方法 | 2020年 4月15日 | |
特許 6682558 | 検査及び計量システム用の電気可制御アパーチャ付センサ | 2020年 4月15日 |
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6728197 6723269 6724182 6717777 6719462 6712591 6713067 6701228 6695895 6691704 6688294 6688732 6681576 6681890 6682558
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11月28日(木) -
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11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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