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ケーエルエー−テンカー コーポレイション

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  2024年 特許取得件数ランキング    第292位 90件 上昇2023年:第345位 92件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7535115 軟X線スキャタロメトリに依拠するオーバレイ計測方法及びシステム 2024年 8月15日
特許 7530920 テスト用フォトマスクを用いるTDIイメージセンサ向けEUVインサイチュー直線性校正 2024年 8月 8日
特許 7531030 オーバレイ計測システム及び方法 2024年 8月 8日
特許 7527400 オーバーレイ計測ツールおよび方法 2024年 8月 2日
特許 7525735 磁気液浸電子銃 2024年 7月30日
特許 7523682 半導体デバイス製造方法及び半導体製造アセンブリ用プロセス制御システム 2024年 7月26日
特許 7520058 マルチステージマルチゾーン基板位置決めシステム 2024年 7月22日
特許 7508659 空間的に変化する偏光回転子および偏光子を用いた高感度粒子検出 2024年 7月 1日
特許 7506756 位置ずれ測定値に対するウェハ傾斜の影響の補正のためのシステムおよび方法 2024年 6月26日
特許 7503140 高圧流れを有するレーザ維持プラズマ光源 2024年 6月19日
特許 7502389 試料の欠陥検出及び光ルミネセンス測定のためのシステム及び方法 2024年 6月18日
特許 7502530 ターゲット 2024年 6月18日
特許 7500694 計測ターゲット設計の方法、計測モジュール、及び計測ターゲットの製造方法 2024年 6月17日
特許 7498771 プラズモニック光電陰極放出器 2024年 6月12日
特許 7498856 位置ずれの散乱計測による単一波長測定およびその改良のためのシステムおよび方法 2024年 6月12日

90 件中 31-45 件を表示

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7535115 7530920 7531030 7527400 7525735 7523682 7520058 7508659 7506756 7503140 7502389 7502530 7500694 7498771 7498856

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