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ケーエルエー−テンカー コーポレイション

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  2025年 特許取得件数ランキング    第278位 90件 上昇2024年:第286位 108件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7736877 EUV光を提供するフォトマスクを備えるシステム 2025年 9月 9日
特許 7734761 試料の検査のためのケア領域の設定 2025年 9月 5日
特許 7725645 オーバレイ計量の性能拡張 2025年 8月19日
特許 7720953 半導体処理装置における希ガスの収集とリサイクル方法 2025年 8月 8日
特許 7720964 ランプハウス補正を備えるプラズマ源のシステム及び方法 2025年 8月 8日
特許 7720405 検査ツールにおける側方剪断干渉測定のシステムおよび方法 2025年 8月 7日
特許 7719100 品質管理専用ウェハを用いない半導体計測ツール群の整合 2025年 8月 5日
特許 7717824 EUVマスク検査のための方法および装置 2025年 8月 4日
特許 7714625 電子ビーム検査システム及び方法 2025年 7月29日
特許 7711203 補正板を使用した光学システムの収差及びアポダイゼーションの補正 2025年 7月22日
特許 7710513 機械学習ベースの測定レシピ最適化の動的制御 2025年 7月18日
特許 7710538 製造ツールの遠隔制御のための帯域幅調整 2025年 7月18日
特許 7709958 走査モードおよび静止モードにおける高感度の光学計測 2025年 7月17日
特許 7710047 マルチビームアレイ構成のための成形アパーチャセット 2025年 7月17日
特許 7705407 広帯域照射同調 2025年 7月 9日

90 件中 16-30 件を表示

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7736877 7734761 7725645 7720953 7720964 7720405 7719100 7717824 7714625 7711203 7710513 7710538 7709958 7710047 7705407

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