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■ 2025年 出願公開件数ランキング 第347位 80件
(
2024年:第311位 105件)
■ 2025年 特許取得件数ランキング 第278位 90件
(
2024年:第286位 108件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7736877 | EUV光を提供するフォトマスクを備えるシステム | 2025年 9月 9日 | |
| 特許 7734761 | 試料の検査のためのケア領域の設定 | 2025年 9月 5日 | |
| 特許 7725645 | オーバレイ計量の性能拡張 | 2025年 8月19日 | |
| 特許 7720953 | 半導体処理装置における希ガスの収集とリサイクル方法 | 2025年 8月 8日 | |
| 特許 7720964 | ランプハウス補正を備えるプラズマ源のシステム及び方法 | 2025年 8月 8日 | |
| 特許 7720405 | 検査ツールにおける側方剪断干渉測定のシステムおよび方法 | 2025年 8月 7日 | |
| 特許 7719100 | 品質管理専用ウェハを用いない半導体計測ツール群の整合 | 2025年 8月 5日 | |
| 特許 7717824 | EUVマスク検査のための方法および装置 | 2025年 8月 4日 | |
| 特許 7714625 | 電子ビーム検査システム及び方法 | 2025年 7月29日 | |
| 特許 7711203 | 補正板を使用した光学システムの収差及びアポダイゼーションの補正 | 2025年 7月22日 | |
| 特許 7710513 | 機械学習ベースの測定レシピ最適化の動的制御 | 2025年 7月18日 | |
| 特許 7710538 | 製造ツールの遠隔制御のための帯域幅調整 | 2025年 7月18日 | |
| 特許 7709958 | 走査モードおよび静止モードにおける高感度の光学計測 | 2025年 7月17日 | |
| 特許 7710047 | マルチビームアレイ構成のための成形アパーチャセット | 2025年 7月17日 | |
| 特許 7705407 | 広帯域照射同調 | 2025年 7月 9日 |
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7736877 7734761 7725645 7720953 7720964 7720405 7719100 7717824 7714625 7711203 7710513 7710538 7709958 7710047 7705407
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