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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2018年 出願公開件数ランキング    第314位 124件 上昇2017年:第379位 113件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第281位 102件 上昇2017年:第305位 95件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6374958 EUV光学リソグラフィ装置用の放射源及び当該放射源を備えるリソグラフィ装置 2018年 8月15日
特許 6371473 照明システム 2018年 8月 8日
特許 6371865 リソグラフィ装置及びリソグラフィ装置を製造する方法 2018年 8月 8日
特許 6371869 リソグラフィ装置を修正する方法 2018年 8月 8日
特許 6366823 オブジェクトテーブル、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 2018年 8月 1日
特許 6367382 リソグラフィ装置、対象物位置決めシステムおよびデバイス製造方法 2018年 8月 1日
特許 6363217 制御システム、位置決めシステム、リソグラフィ装置、制御方法、デバイス製造方法及び制御プログラム 2018年 7月25日
特許 6359565 静電クランプ 2018年 7月18日
特許 6352481 流体ハンドリング構造、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 2018年 7月 4日
特許 6347817 リソグラフィ装置 2018年 6月27日
特許 6347849 センサシステム、基板ハンドリングシステムおよびリソグラフィ装置 2018年 6月27日
特許 6346296 メトロロジー方法及び装置、基板、リソグラフィシステム並びにデバイス製造方法 2018年 6月20日
特許 6346297 任意パターンにおける確率的変動を計算するためのモデル 2018年 6月20日
特許 6342486 偏光非依存干渉計 2018年 6月13日
特許 6342492 光学スイッチを用いたリターンビームメトロロジのためのシステムおよび方法 2018年 6月13日

105 件中 46-60 件を表示

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6374958 6371473 6371865 6371869 6366823 6367382 6363217 6359565 6352481 6347817 6347849 6346296 6346297 6342486 6342492

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