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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6400827 | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | 2018年10月 3日 | |
特許 6395832 | 放射源用コンポーネント、関連した放射源およびリソグラフィ装置 | 2018年 9月26日 | |
特許 6396483 | リソグラフィにおける対象物の位置決め | 2018年 9月26日 | |
特許 6397008 | リソグラフィ装置、リソグラフィ装置で使用するための位置決めシステム、および方法 | 2018年 9月26日 | |
特許 6397884 | レーザ生成プラズマ極端紫外線光源のターゲット | 2018年 9月26日 | |
特許 6393397 | リソグラフィ装置の照射線量決定方法、検査装置およびデバイス製造方法 | 2018年 9月19日 | |
特許 6388869 | 極紫外光源のためのビューポートプロテクタ | 2018年 9月12日 | |
特許 6389898 | コイルアセンブリ、電磁アクチュエータ、ステージ位置決め装置、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | 2018年 9月12日 | |
特許 6386569 | プロセスウィンドウを最適化する方法 | 2018年 9月 5日 | |
特許 6387421 | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 | 2018年 9月 5日 | |
特許 6382298 | リソグラフィ装置 | 2018年 8月29日 | |
特許 6382856 | EUVリソグラフィー用の光学素子及び光学系、及びこの光学系を処理する方法 | 2018年 8月29日 | |
特許 6377187 | リソグラフィのためのメトロロジ | 2018年 8月22日 | |
特許 6374481 | 極端紫外線光源のビーム位置制御を行うシステム又は方法 | 2018年 8月15日 | |
特許 6374493 | リソグラフィ方法 | 2018年 8月15日 |
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6400827 6395832 6396483 6397008 6397884 6393397 6388869 6389898 6386569 6387421 6382298 6382856 6377187 6374481 6374493
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