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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2022年 出願公開件数ランキング    第222位 169件 上昇2021年:第339位 109件)

  2022年 特許取得件数ランキング    第259位 122件 下降2021年:第239位 120件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2022-8595 極端紫外光源におけるターゲット膨張率制御 2022年 1月13日
特表 2022-504135 ターゲット材料送達システムの寿命を延長する装置及び方法 2022年 1月13日
特表 2022-504385 検査装置 2022年 1月13日
特表 2022-504488 メトトロジ方法、パターニングデバイス、装置及びコンピュータプログラム 2022年 1月13日
特表 2022-503704 濃縮及び放射性同位元素生成 2022年 1月12日
特表 2022-503714 光学変調器の制御 2022年 1月12日
特表 2022-503773 薄膜アセンブリを製造する方法 2022年 1月12日
特表 2022-503823 EUV光源中の放射源材料の汚染を軽減するための装置及び方法 2022年 1月12日
特表 2022-502633 レーザ三角測量装置及び較正方法 2022年 1月11日
特表 2022-502689 マークの位置を測定するための装置及び方法 2022年 1月11日
特表 2022-502690 リソグラフィシステムにおいて高精度遅延を提供するための装置及び方法 2022年 1月11日
特表 2022-502696 アライメントセンサの検出システム 2022年 1月11日
特表 2022-502709 冷却フードの高速温度制御のためのガス混合 2022年 1月11日
特表 2022-501584 光学系、メトロロジ装置、及び関連の方法 2022年 1月 6日
特表 2022-501632 放射システム 2022年 1月 6日

175 件中 151-165 件を表示

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2022-8595 2022-504135 2022-504385 2022-504488 2022-503704 2022-503714 2022-503773 2022-503823 2022-502633 2022-502689 2022-502690 2022-502696 2022-502709 2022-501584 2022-501632

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