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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．

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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2022-543545	ペリクル膜	2022年10月13日
特表 2022-542796	マーク測定シーケンスの判定方法、ステージ装置、及びリソグラフィ装置	2022年10月 7日
特表 2022-542806	サポート、振動絶縁システム、リソグラフィ装置、オブジェクト測定装置、デバイス製造方法	2022年10月 7日
特表 2022-542538	熱機械アクチュエータ	2022年10月 5日
特開 2022-145719	基板ホルダ、基板支持部、基板をクランプシステムにクランプする方法、およびリソグラフィ装置	2022年10月 4日
特開 2022-145866	装置	2022年10月 4日
特表 2022-542070	放射源	2022年 9月29日
特開 2022-140460	エキシマ光源におけるスペックルの低減	2022年 9月26日
特開 2022-140566	計算メトロロジに基づく補正および制御	2022年 9月26日
特表 2022-541391	多重着地エネルギー走査電子顕微鏡システム及び方法	2022年 9月26日
特表 2022-541296	温度調整システム	2022年 9月22日
特表 2022-539968	放射スポットの中心を決定するための方法、センサ、及びステージ装置	2022年 9月14日
特表 2022-539984	基板形状測定デバイス	2022年 9月14日
特表 2022-539994	光増幅キャビティと共に使用するための測定システム	2022年 9月14日
特表 2022-539475	基板高さを測定する装置及び方法	2022年 9月 9日

175 件中 31-45 件を表示

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2022-543545 2022-542796 2022-542806 2022-542538 2022-145719 2022-145866 2022-542070 2022-140460 2022-140566 2022-541391 2022-541296 2022-539968 2022-539984 2022-539994 2022-539475

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