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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2022年 出願公開件数ランキング    第222位 169件 上昇2021年:第339位 109件)

  2022年 特許取得件数ランキング    第259位 122件 下降2021年:第239位 120件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2022-172256 マルチビーム装置におけるビームセパレータの分散を補償するためのシステム及び方法 2022年11月15日
特表 2022-547393 リソグラフィ装置用のペリクル膜 2022年11月14日
特表 2022-547453 流体ハンドリングシステム及びリソグラフィ装置 2022年11月14日
特表 2022-547265 リソグラフィプロセスのサブフィールド制御及び関連する装置 2022年11月11日
特開 2022-167895 半導体検出器及びこれを製造する方法 2022年11月 4日
特開 2022-167939 ラジカルを輸送するための装置および方法 2022年11月 4日
特表 2022-546219 ウェーハ接地のための方法、装置、及びシステム 2022年11月 4日
特表 2022-546223 マルチビームSEMツール用の自己参照型健全度監視システム 2022年11月 4日
特開 2022-164661 リソグラフィ方法 2022年10月27日
特開 2022-163167 荷電粒子マルチビームレットリソグラフィーシステムを使用し、一意的チップを製作するための方法及びシステム 2022年10月25日
特表 2022-544902 コンテナ内の燃料の量を判定するための装置 2022年10月24日
特表 2022-544905 基板ホルダ、リソグラフィ装置、及び方法 2022年10月24日
特表 2022-544747 マイクロミラーアレイ 2022年10月21日
特開 2022-160700 EUVリソグラフィ用のメンブレン 2022年10月19日
特表 2022-544187 計測デバイスおよびそのための位相変調装置 2022年10月17日

175 件中 16-30 件を表示

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2022-172256 2022-547393 2022-547453 2022-547265 2022-167895 2022-167939 2022-546219 2022-546223 2022-164661 2022-163167 2022-544902 2022-544905 2022-544747 2022-160700 2022-544187

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