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■ 2024年 特許取得件数ランキング 第249位 117件 (2023年:第238位 146件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7550214 | マイクロミラーアレイ | 2024年 9月12日 | |
特許 7547352 | レチクルアセンブリのアセンブリのための装置 | 2024年 9月 9日 | |
特許 7545386 | 光学変調器の制御 | 2024年 9月 4日 | |
特許 7543360 | 極紫外光源の光パルス発生 | 2024年 9月 2日 | |
特許 7543425 | アパーチャアセンブリ、ビームマニピュレータユニット、荷電粒子ビームを操作する方法、及び荷電粒子投影装置 | 2024年 9月 2日 | |
特許 7542110 | プロセスに対する補正の決定 | 2024年 8月29日 | |
特許 7536784 | 極端紫外光源の保護システム | 2024年 8月20日 | |
特許 7536840 | 極端紫外線光源のための供給システム | 2024年 8月20日 | |
特許 7532550 | パターニングデバイス及びそのパターンを生成するためのシステム、製品、及び方法 | 2024年 8月13日 | |
特許 7531638 | プラズマをモニタするためのシステム | 2024年 8月 9日 | |
特許 7531650 | ペリクルに関連する状態を決定するための装置および方法 | 2024年 8月 9日 | |
特許 7531651 | サンプルをスキャンするための荷電粒子ビームシステム | 2024年 8月 9日 | |
特許 7530374 | 放射ビームを測定するための方法およびリソグラフィ装置 | 2024年 8月 7日 | |
特許 7529767 | 放射導管 | 2024年 8月 6日 | |
特許 7528206 | 広帯域放射発生用の中空コアフォトニック結晶ファイバに基づく光学部品を製造する方法 | 2024年 8月 5日 |
121 件中 16-30 件を表示
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7550214 7547352 7545386 7543360 7543425 7542110 7536784 7536840 7532550 7531638 7531650 7531651 7530374 7529767 7528206
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11月27日(水) -
11月27日(水) -
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11月28日(木) -
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11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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