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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2024年 出願公開件数ランキング    第219位 146件 上昇2023年:第242位 151件)

  2024年 特許取得件数ランキング    第249位 117件 下降2023年:第238位 146件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7550214 マイクロミラーアレイ 2024年 9月12日
特許 7547352 レチクルアセンブリのアセンブリのための装置 2024年 9月 9日
特許 7545386 光学変調器の制御 2024年 9月 4日
特許 7543360 極紫外光源の光パルス発生 2024年 9月 2日
特許 7543425 アパーチャアセンブリ、ビームマニピュレータユニット、荷電粒子ビームを操作する方法、及び荷電粒子投影装置 2024年 9月 2日
特許 7542110 プロセスに対する補正の決定 2024年 8月29日
特許 7536784 極端紫外光源の保護システム 2024年 8月20日
特許 7536840 極端紫外線光源のための供給システム 2024年 8月20日
特許 7532550 パターニングデバイス及びそのパターンを生成するためのシステム、製品、及び方法 2024年 8月13日
特許 7531638 プラズマをモニタするためのシステム 2024年 8月 9日
特許 7531650 ペリクルに関連する状態を決定するための装置および方法 2024年 8月 9日
特許 7531651 サンプルをスキャンするための荷電粒子ビームシステム 2024年 8月 9日
特許 7530374 放射ビームを測定するための方法およびリソグラフィ装置 2024年 8月 7日
特許 7529767 放射導管 2024年 8月 6日
特許 7528206 広帯域放射発生用の中空コアフォトニック結晶ファイバに基づく光学部品を製造する方法 2024年 8月 5日

121 件中 16-30 件を表示

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7550214 7547352 7545386 7543360 7543425 7542110 7536784 7536840 7532550 7531638 7531650 7531651 7530374 7529767 7528206

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