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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7833471 リソグラフィ露光装置の一または複数のアクチュエータについてのフォーカス駆動プロファイルを決定するための方法 2026年 3月19日
特許 7832936 能動学習に基づく欠陥位置の識別 2026年 3月18日
特許 7832928 レチクル-ペリクルアセンブリを処理するための装置及び方法 2026年 3月18日
特許 7828365 フーリエ変換ベースレイアウトパターンの階層的クラスタ化 2026年 3月11日
特許 7828351 リソグラフィ装置のための新しいインターフェイス定義 2026年 3月11日
特許 7826005 冷却フードの高速温度制御のためのガス混合 2026年 3月 9日
特許 7824374 広アクティブ領域高速検出器のアーキテクチャ 2026年 3月 4日
特許 7822408 荷電粒子装置用の交換可能モジュール 2026年 3月 2日
特許 7822407 液滴発生器性能を監視及び制御する装置及び方法 2026年 3月 2日
特許 7821186 干渉計システム、ポジショニングシステム、リソグラフィ装置、ジッタ判定方法、デバイス製造方法 2026年 2月26日
特許 7820367 リソグラフィ装置における基板レベルセンシング 2026年 2月25日
特許 7814401 光パルスを空間的にフィルタリングするための方法および装置 2026年 2月16日
特許 7809705 静電クランプ 2026年 2月 2日
特許 7809693 遅延時間測定方法及びシステム 2026年 2月 2日
特許 7805367 帯域幅及びスペックルに基づくリソグラフィプロセスの最適化 2026年 1月23日

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7833471 7832936 7832928 7828365 7828351 7826005 7824374 7822408 7822407 7821186 7820367 7814401 7809705 7809693 7805367

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