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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7839178 | 基板拘束システム | 2026年 4月 1日 | |
| 特許 7838150 | 基板サポート、基板テーブルおよび方法 | 2026年 3月31日 | |
| 特許 7837961 | 流体ハンドリングシステム、方法およびリソグラフィ装置 | 2026年 3月31日 | |
| 特許 7836817 | 電子密度分布を制御するための方法及び装置 | 2026年 3月27日 | |
| 特許 7836755 | マルチビームSEMツール用の自己参照型健全度監視システム | 2026年 3月27日 | |
| 特許 7833471 | リソグラフィ露光装置の一または複数のアクチュエータについてのフォーカス駆動プロファイルを決定するための方法 | 2026年 3月19日 | |
| 特許 7832936 | 能動学習に基づく欠陥位置の識別 | 2026年 3月18日 | |
| 特許 7832928 | レチクル-ペリクルアセンブリを処理するための装置及び方法 | 2026年 3月18日 | |
| 特許 7828351 | リソグラフィ装置のための新しいインターフェイス定義 | 2026年 3月11日 | |
| 特許 7828365 | フーリエ変換ベースレイアウトパターンの階層的クラスタ化 | 2026年 3月11日 | |
| 特許 7826005 | 冷却フードの高速温度制御のためのガス混合 | 2026年 3月 9日 | |
| 特許 7824374 | 広アクティブ領域高速検出器のアーキテクチャ | 2026年 3月 4日 | |
| 特許 7822408 | 荷電粒子装置用の交換可能モジュール | 2026年 3月 2日 | |
| 特許 7822407 | 液滴発生器性能を監視及び制御する装置及び方法 | 2026年 3月 2日 | |
| 特許 7821186 | 干渉計システム、ポジショニングシステム、リソグラフィ装置、ジッタ判定方法、デバイス製造方法 | 2026年 2月26日 |
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7839178 7838150 7837961 7836817 7836755 7833471 7832936 7832928 7828351 7828365 7826005 7824374 7822408 7822407 7821186
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