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■ 2025年 出願公開件数ランキング 第220位 117件
(2024年:第220位 162件)
■ 2025年 特許取得件数ランキング 第356位 56件
(2024年:第257位 124件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7633950 | リソグラフィ装置の基板ハンドリングシステムおよびその方法 | 2025年 2月20日 | |
特許 7631369 | システム、リソグラフィ装置および方法 | 2025年 2月18日 | |
特許 7630515 | コレクタ流リング | 2025年 2月17日 | |
特許 7625017 | 荷電粒子を放出するための放出器 | 2025年 1月31日 | |
特許 7624471 | ペリクル及びペリクルアセンブリ | 2025年 1月30日 | |
特許 7617917 | 放射源用容器 | 2025年 1月20日 | |
特許 7617220 | 計測装置及び基板ステージ・ハンドラ・システム | 2025年 1月17日 | |
特許 7614211 | 粒子状デブリの軌道を変更するための偏向装置を備えるリソグラフィシステム | 2025年 1月15日 | |
特許 7614278 | リソグラフィ装置において使用される基板ホルダ | 2025年 1月15日 | |
特許 7614297 | 荷電粒子ビーム検査のためのサンプルの予備帯電方法及び装置 | 2025年 1月15日 | |
特許 7612565 | 回転防止流体接続 | 2025年 1月14日 | |
特許 7612801 | 低クロストークを有する多重荷電粒子ビーム装置 | 2025年 1月14日 | |
特許 7611921 | 暗視野デジタルホログラフィ顕微鏡および関連する計測方法 | 2025年 1月10日 | |
特許 7611353 | 静電レンズ設計 | 2025年 1月 9日 | |
特許 7608500 | 粒子ビーム検査装置 | 2025年 1月 6日 |
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7633950 7631369 7630515 7625017 7624471 7617917 7617220 7614211 7614278 7614297 7612565 7612801 7611921 7611353 7608500
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