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■ 2024年 出願公開件数ランキング 第219位 146件 (2023年:第242位 151件)
■ 2024年 特許取得件数ランキング 第249位 117件 (2023年:第238位 146件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7515635 | 荷電粒子マルチビーム評価ツールで使用される検出器基板 | 2024年 7月12日 | |
特許 7514338 | 広帯域放射を発生させるための方法並びに関連する広帯域源及びメトロロジデバイス | 2024年 7月10日 | |
特許 7512403 | 荷電粒子システムにおける高スループット欠陥検査のためのシステム及び方法 | 2024年 7月 8日 | |
特許 7511002 | 流体ハンドリングシステム及びリソグラフィ装置 | 2024年 7月 4日 | |
特許 7511033 | メトロロジ方法及び装置並びにコンピュータプログラム | 2024年 7月 4日 | |
特許 7509969 | マスクアセンブリ | 2024年 7月 2日 | |
特許 7507763 | サンプルをスキャンするための荷電粒子ビームシステム | 2024年 6月28日 | |
特許 7507815 | 荷電粒子マルチビームレットリソグラフィーシステムを使用し、一意的チップを製作するための方法及びシステム | 2024年 6月28日 | |
特許 7506800 | メトロロジー方法、ターゲット、及び基板 | 2024年 6月26日 | |
特許 7506193 | 流体パージシステムおよびパージ方法 | 2024年 6月25日 | |
特許 7505078 | 複数の荷電粒子ビームのための装置 | 2024年 6月24日 | |
特許 7504114 | EUV光源におけるターゲット材料制御 | 2024年 6月21日 | |
特許 7504282 | 光学装置を調整するためのシステムおよび方法 | 2024年 6月21日 | |
特許 7503635 | 荷電粒子評価ツール、検査方法 | 2024年 6月20日 | |
特許 7503049 | ターゲット材料送達システムの寿命を延長する装置及び方法 | 2024年 6月19日 |
121 件中 46-60 件を表示
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7515635 7514338 7512403 7511002 7511033 7509969 7507763 7507815 7506800 7506193 7505078 7504114 7504282 7503635 7503049
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11月22日(金) -
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11月22日(金) -
11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
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11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
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11月27日(水) -
11月27日(水) -
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11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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