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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2024年 特許取得件数ランキング    第249位 117件 下降2023年:第238位 146件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7515635 荷電粒子マルチビーム評価ツールで使用される検出器基板 2024年 7月12日
特許 7514338 広帯域放射を発生させるための方法並びに関連する広帯域源及びメトロロジデバイス 2024年 7月10日
特許 7512403 荷電粒子システムにおける高スループット欠陥検査のためのシステム及び方法 2024年 7月 8日
特許 7511002 流体ハンドリングシステム及びリソグラフィ装置 2024年 7月 4日
特許 7511033 メトロロジ方法及び装置並びにコンピュータプログラム 2024年 7月 4日
特許 7509969 マスクアセンブリ 2024年 7月 2日
特許 7507763 サンプルをスキャンするための荷電粒子ビームシステム 2024年 6月28日
特許 7507815 荷電粒子マルチビームレットリソグラフィーシステムを使用し、一意的チップを製作するための方法及びシステム 2024年 6月28日
特許 7506800 メトロロジー方法、ターゲット、及び基板 2024年 6月26日
特許 7506193 流体パージシステムおよびパージ方法 2024年 6月25日
特許 7505078 複数の荷電粒子ビームのための装置 2024年 6月24日
特許 7504114 EUV光源におけるターゲット材料制御 2024年 6月21日
特許 7504282 光学装置を調整するためのシステムおよび方法 2024年 6月21日
特許 7503635 荷電粒子評価ツール、検査方法 2024年 6月20日
特許 7503049 ターゲット材料送達システムの寿命を延長する装置及び方法 2024年 6月19日

121 件中 46-60 件を表示

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7515635 7514338 7512403 7511002 7511033 7509969 7507763 7507815 7506800 7506193 7505078 7504114 7504282 7503635 7503049

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