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■ 2026年 出願公開件数ランキング 第195位 151件
(
2025年:第200位 172件)
■ 2026年 特許取得件数ランキング 第332位 68件
(
2025年:第349位 78件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7863579 | 極紫外線フォトリソグラフィ用途のためのハイブリッドフォトレジスト組成物 | 2026年 5月21日 | |
| 特許 7862489 | アパーチャアセンブリ、ビームマニピュレータユニット、荷電粒子ビームを操作する方法、及び荷電粒子投影装置 | 2026年 5月19日 | |
| 特許 7861080 | EUVリソグラフィ用のメンブレン | 2026年 5月18日 | |
| 特許 7857935 | ウェーハ検査用の合成欠陥画像を生成するための機械学習ベースのシステム及び方法 | 2026年 5月13日 | |
| 特許 7851351 | 液滴発生器性能を制御する装置及び方法 | 2026年 4月24日 | |
| 特許 7848248 | 荷電粒子検査における画像歪み補正 | 2026年 4月20日 | |
| 特許 7844496 | 中空コア光ファイバベースの放射源 | 2026年 4月13日 | |
| 特許 7843757 | 基板エリアの測定データをモデル化する方法及び関連する装置 | 2026年 4月10日 | |
| 特許 7841043 | リソグラフィ装置で用いる基板ホルダ及びデバイス製造方法 | 2026年 4月 6日 | |
| 特許 7840950 | 荷電粒子ビーム検査システムにおけるトポロジーベースの画像レンダリング | 2026年 4月 6日 | |
| 特許 7839178 | 基板拘束システム | 2026年 4月 1日 | |
| 特許 7837961 | 流体ハンドリングシステム、方法およびリソグラフィ装置 | 2026年 3月31日 | |
| 特許 7838150 | 基板サポート、基板テーブルおよび方法 | 2026年 3月31日 | |
| 特許 7836817 | 電子密度分布を制御するための方法及び装置 | 2026年 3月27日 | |
| 特許 7836755 | マルチビームSEMツール用の自己参照型健全度監視システム | 2026年 3月27日 |
69 件中 31-45 件を表示
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7863579 7862489 7861080 7857935 7851351 7848248 7844496 7843757 7841043 7840950 7839178 7837961 7838150 7836817 7836755
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