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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．

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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7670904	放射源	2025年 4月30日
特許 7667741	リソグラフィ装置に関する方法	2025年 4月23日
特許 7667169	基板サポート、基板テーブルおよび方法	2025年 4月22日
特許 7664446	放射源、リソグラフィシステム及び検査システム	2025年 4月17日
特許 7661324	リソグラフィ装置のための基板サポートを製造する方法、基板テーブル、リソグラフィ装置、デバイス製造方法、使用方法	2025年 4月14日
特許 7661354	オブジェクトホルダ、ツール、及びオブジェクトホルダの製造方法	2025年 4月14日
特許 7660572	極端紫外光源用のターゲット材料タンク	2025年 4月11日
特許 7659670	荷電粒子操作デバイス	2025年 4月 9日
特許 7654141	アライメントマークの局所的な歪みに基づくアライメント信号の生成	2025年 3月31日
特許 7650280	位置決め装置およびリソグラフィ装置	2025年 3月24日
特許 7646628	基板ホルダ、リソグラフィ装置、及び方法	2025年 3月17日
特許 7644125	マスクレスリソグラフィの方法及びシステム	2025年 3月11日
特許 7644199	荷電粒子遮断要素、このような要素を備えた露光装置、及びこのような露光装置を使用する方法	2025年 3月11日
特許 7639123	露光パターンを測定するための計測方法および関連する計測装置	2025年 3月 4日
特許 7634936	拡散接合により接合された基体を含む、部品を静電的に保持するための保持装置、およびその製造方法	2025年 2月25日

60 件中 31-45 件を表示

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7670904 7667741 7667169 7664446 7661324 7661354 7660572 7659670 7654141 7650280 7646628 7644125 7644199 7639123 7634936

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