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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2024年 特許取得件数ランキング    第249位 117件 下降2023年:第238位 146件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7527338 時間依存欠陥検査装置 2024年 8月 2日
特許 7526736 リソグラフィシステムを制御するための方法 2024年 8月 1日
特許 7526234 マルチビーム装置におけるビームセパレータの分散を補償するためのシステム及び方法 2024年 7月31日
特許 7526259 液滴発生器ノズル 2024年 7月31日
特許 7525488 メンブレンアセンブリを製造する方法 2024年 7月30日
特許 7524280 ペリクル及びペリクルアセンブリ 2024年 7月29日
特許 7523601 パターニングプロセスの調整方法 2024年 7月26日
特許 7520109 パターニングデバイスを特徴付けるための測定システム及び方法 2024年 7月22日
特許 7519455 信号電子検出のためのシステム及び方法 2024年 7月19日
特許 7519465 高さ測定方法及び高さ測定システム 2024年 7月19日
特許 7518238 サンプリングスキームを決定する方法、半導体基板測定装置、リソグラフィ装置 2024年 7月17日
特許 7516366 電磁複合レンズ及びそのようなレンズを備えた荷電粒子光学システム 2024年 7月16日
特許 7516370 メンブレンクリーニング装置 2024年 7月16日
特許 7515524 基板形状測定デバイス 2024年 7月12日
特許 7515626 収差影響システム、モデル、及び製造プロセス 2024年 7月12日

121 件中 31-45 件を表示

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7527338 7526736 7526234 7526259 7525488 7524280 7523601 7520109 7519455 7519465 7518238 7516366 7516370 7515524 7515626

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