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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第608位 49件
(
2017年:第471位 83件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第581位 42件
(
2017年:第664位 36件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6310390 | レーザ装置の制御方法及びレーザ装置 | 2018年 4月11日 | |
| 特許 6306658 | エキシマレーザ装置及びエキシマレーザシステム | 2018年 4月 4日 | |
| 特許 6307436 | レーザチャンバ及び放電励起式ガスレーザ装置 | 2018年 4月 4日 | |
| 特許 6297503 | レーザビーム制御装置及び極端紫外光生成装置 | 2018年 3月20日 | |
| 特許 6290084 | 光源装置及びデータ処理方法 | 2018年 3月 7日 | |
| 特許 6285450 | レーザ装置、及び極端紫外光生成システム | 2018年 2月28日 | |
| 特許 6283036 | レーザ装置、及びレーザ装置にチャンバを増設する方法 | 2018年 2月21日 | |
| 特許 6283684 | 極端紫外光生成装置及び極端紫外光生成装置の制御方法 | 2018年 2月21日 | |
| 特許 6275731 | ターゲット供給装置およびEUV光生成装置 | 2018年 2月 7日 | |
| 特許 6275737 | レーザ装置及び非一過性のコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | 2018年 2月 7日 | |
| 特許 6270310 | 冷却水温度制御装置 | 2018年 1月31日 | |
| 特許 6270820 | レーザアニール装置 | 2018年 1月31日 | |
| 特許 6266817 | ターゲット供給装置 | 2018年 1月24日 |
43 件中 31-43 件を表示
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6310390 6306658 6307436 6297503 6290084 6285450 6283036 6283684 6275731 6275737 6270310 6270820 6266817
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