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ギガフォトン株式会社

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  2018年 出願公開件数ランキング    第608位 49件 下降2017年:第471位 83件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第581位 42件 上昇2017年:第664位 36件)

(ランキング更新日:2025年2月17日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6310390 レーザ装置の制御方法及びレーザ装置 2018年 4月11日
特許 6306658 エキシマレーザ装置及びエキシマレーザシステム 2018年 4月 4日
特許 6307436 レーザチャンバ及び放電励起式ガスレーザ装置 2018年 4月 4日
特許 6297503 レーザビーム制御装置及び極端紫外光生成装置 2018年 3月20日
特許 6290084 光源装置及びデータ処理方法 2018年 3月 7日
特許 6285450 レーザ装置、及び極端紫外光生成システム 2018年 2月28日
特許 6283036 レーザ装置、及びレーザ装置にチャンバを増設する方法 2018年 2月21日
特許 6283684 極端紫外光生成装置及び極端紫外光生成装置の制御方法 2018年 2月21日
特許 6275731 ターゲット供給装置およびEUV光生成装置 2018年 2月 7日
特許 6275737 レーザ装置及び非一過性のコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2018年 2月 7日
特許 6270310 冷却水温度制御装置 2018年 1月31日
特許 6270820 レーザアニール装置 2018年 1月31日
特許 6266817 ターゲット供給装置 2018年 1月24日

43 件中 31-43 件を表示

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6310390 6306658 6307436 6297503 6290084 6285450 6283036 6283684 6275731 6275737 6270310 6270820 6266817

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