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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第608位 49件
(
2017年:第471位 83件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第581位 42件
(
2017年:第664位 36件)
(ランキング更新日:2025年11月21日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6378355 | 極端紫外光生成装置及び極端紫外光の生成方法 | 2018年 8月22日 | |
| 特許 6378459 | ガスレーザ装置 | 2018年 8月22日 | |
| 特許 6378460 | ガスレーザ装置 | 2018年 8月22日 | |
| 特許 6378461 | ガスレーザ装置 | 2018年 8月22日 | |
| 特許 6378462 | ガスレーザ装置 | 2018年 8月22日 | |
| 特許 6367941 | 極端紫外光生成装置 | 2018年 8月 1日 | |
| 特許 6363711 | レーザシステム | 2018年 7月25日 | |
| 特許 6364002 | 極端紫外光生成システム | 2018年 7月25日 | |
| 特許 6364476 | ガスレーザ装置及びその制御方法 | 2018年 7月25日 | |
| 特許 6360489 | 極端紫外光生成装置 | 2018年 7月18日 | |
| 特許 6348121 | レーザ装置 | 2018年 6月27日 | |
| 特許 6346949 | レーザシステム | 2018年 6月20日 | |
| 特許 6329623 | ターゲット供給装置、極端紫外光生成装置、及びターゲット供給方法 | 2018年 5月23日 | |
| 特許 6324487 | レーザ装置 | 2018年 5月16日 | |
| 特許 6314257 | 極端紫外光生成装置 | 2018年 4月18日 |
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6378355 6378459 6378460 6378461 6378462 6367941 6363711 6364002 6364476 6360489 6348121 6346949 6329623 6324487 6314257
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